隨著節(jié)能減排、新能源并網(wǎng)、智能電網(wǎng)的發(fā)展，這些領域對功率半導體器件的性能指標和可靠性的要求日益提高，要求器件有更高的工作電壓、更大的電流承載能力、更高的工作頻率、更高的效率、更高的工作溫度、更強的散熱能力和更高的可靠性。國家和國際大型企業(yè)紛紛投入到碳化硅和氮化的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化中，產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋材料、器件、模塊和應用等各個環(huán)節(jié)。

由于天然含量甚少，碳化硅主要多為人造。常見的方法是將石英砂與焦炭混合，利用其中的二氧化硅和石油焦，加入和木屑，置入電爐中，加熱到2000°C左右高溫，經(jīng)過各種化學工藝流程后得到碳化硅微粉。

制作碳化硅有以下幾種步驟：

1)取碳化硅原料，經(jīng)破碎機中碎，并篩分至不大于5mm的碳化硅顆粒，再用機對其進行至不大于2mm的碳化硅顆粒，且其中橢圓形顆粒占80%以上，再對其進行酸洗除雜，干燥;

2)將上述干燥后的碳化硅顆粒用磨粉機粉碎成d50=9.5-11.5μm的碳化硅粉，粉碎時，磨粉機主機電流設定為65-75A，風機流量設定為40-50m3/min，分析機轉速為400--600轉/分;

(3) 然后用渦流式氣流分級機對碳化硅粉進行分級，分級時，渦流式氣流分級機的風機流量為25-43m3/min，分級輪轉速為2600--3300轉/分，從分級口分出粒度ds94=6.5-5.5μm的成品A，旋風口分出ds94≤5.5μm的半成品;

(4)將渦流式氣流分級機旋風口分出的半成品用葉輪式氣流分級機再進行二次分級，分級時，葉輪式氣流分級機的風機流量為25-10m3/min，分級輪轉速為1300--1700轉/分，從分級口分出粒度為ds94=4.5-3.0μm的成品B，旋風口則分出副產(chǎn)品。