凈化工程

在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、xi菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學科。無塵室對室內(nèi)環(huán)境對生產(chǎn)過程的影響如下：（1）對生產(chǎn)過程產(chǎn)生重要影響室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境是制約工業(yè)生產(chǎn)，特別是高科技生產(chǎn)能否進行的關鍵因素之一。凈化工程所特別設計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。

亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以，送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產(chǎn)生?？窜囬g是什么行業(yè)、什么產(chǎn)品，有無法熱設備，發(fā)熱設備的排風量是多大。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質(zhì)是：突變流；非均勻流。

凈化工程——潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。廠房凈化工程裝修材料常用的有EPS彩鋼夾芯板、巖棉夾芯彩鋼板、紙蜂窩夾芯板、機制板夾芯板、手工企口巖棉板、凈化鋁材。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈廠房設計規(guī)范：潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應符合下列要求：

一、潔凈室內(nèi)有多種工序時，應根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。

二、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組級別，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全 室空氣凈化相結合的形式。

1、層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設置。P#iyQ9yYu5s_A

2、潔凈室內(nèi)的計算溫、溫度、應符合下列規(guī)定：

（1）滿足生產(chǎn)工藝要求

（2）生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時，潔凈室溫度為20～26度，溫度70度。