彎管的中心曲率半徑應(yīng)大于矩形風(fēng)管的邊長(zhǎng)，圓形則采用1.25倍直徑。大斷面風(fēng)管應(yīng)在管內(nèi)加導(dǎo)流片，以減少阻力。而在實(shí)際安裝施工中，較少如此處理。對(duì)于變徑管，不可突然變徑，宜作成漸擴(kuò)（縮）管，漸擴(kuò)管每邊擴(kuò)展角應(yīng)大于15°，漸縮管則每邊收縮角不大于30°。因此，IC消費(fèi)過(guò)程中的某些加工工序及工序問(wèn)的材料傳送和存放環(huán)境中，AMC已成為嚴(yán)重影響廢品率的重要問(wèn)題，AMC分子控制技術(shù)成為潔凈室設(shè)計(jì)與施工樹(shù)立的主流趨向。矩形風(fēng)管的三通要順氣流彎管彎曲分流，支管也應(yīng)有一定的曲率半徑。若要90°角分流，則應(yīng)在彎頭內(nèi)加導(dǎo)流片。

空氣分子污染AMC作為IC工廠關(guān)心的問(wèn)題于20年前先由日本人提出，近年來(lái)，世界Ic卡技術(shù)展開(kāi)疾速，IC芯片日益微型化，目前曾經(jīng)有贏徑為0.4lilln的世界小的非接觸型無(wú)線射頻識(shí)別芯片。AMC對(duì)當(dāng)前的IC消費(fèi)其潛在的污染比粒子污染要普遍多，粒子污染控制只需求肯定粒徑及個(gè)數(shù)，但對(duì)AMC控制而言，除了受芯片線寬的減少而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過(guò)程。

凈化車間（潔凈室）的生產(chǎn)人員清潔要求

1）每日上崗前應(yīng)在更衣室穿戴好清潔、無(wú)缺、契合不同生產(chǎn)區(qū)域工裝要求的工衣、工鞋、工帽。

2）作業(yè)前要將手洗潔凈，直接觸摸的作業(yè)人員不得佩帶首飾，不得涂抹化妝品。

3）脫離作業(yè)場(chǎng)地時(shí)，有必要脫掉工衣、工鞋、工帽。

4）生產(chǎn)人員應(yīng)常常洗澡、理發(fā)、刮胡須、修剪指甲、換洗衣服，堅(jiān)持個(gè)人清潔。