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半導體真空腔體加工報價信息推薦「科創(chuàng)真空」

發(fā)布時間:2021-08-20 23:08  

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視頻作者:北京科創(chuàng)鼎新真空技術有限公司






真空腔體常用的清洗方法

1、超聲波清洗

超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的.

2、電解侵蝕清洗

電解侵蝕清洗類似于電解拋光,是指在溶劑中利用電解作用,清除金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物,主要用于化學穩(wěn)定性較高的合金部件,如不銹鋼,耐熱鋼等.

3、蒸汽脫脂清洗

蒸氣脫脂指被粘物表面用餐劑的蒸氣不斷清洗以達到脫脂的目的,適用于表面類脂膜和油脂膜的清洗,操作方法簡單,可以實現(xiàn)大批量清洗.一些帶有牢固附著物或污染較為嚴重的基片在擦洗或超聲波清洗后,用蒸汽脫脂清洗可以實現(xiàn)很好的清洗效果.





真空腔體除塵過濾方式及過濾裝置大家了解多少呢?

有些真空工藝會產(chǎn)生大量的塵土,如果塵土隨被抽氣體進入油封真空泵內(nèi)混在泵油中,會像研磨劑一樣加速泵腔內(nèi)零件的磨損,對泵轉子和泵腔造成磨損和損壞,堵塞油路或使泵無法運轉,如果塵土進入真空閥門則會使密封失效而泄漏,因此塵土的規(guī)避和過濾己成為增加真空腔體的使用壽命,增加生產(chǎn)率的關鍵問題,在有塵土的真空系統(tǒng)中,要采用塵土過濾器。3*10-10mbar*l/s2、水冷水壓檢測:8公斤24小時無泄漏檢測。

在塵土量較少時,可以由泵油過濾系統(tǒng)濾除,但塵土量較大時,為不讓真空泵損壞,讓真空泵的正常運轉要使用除塵器。真空腔體加工廠家解釋說常用塵土過濾方法有以下幾種:

(1)旋風離心式。進氣口與筒體成偏疼放置,塵土隨氣流旋轉,因離心力效果而沉降在過濾器的底部。

(2)油淋式。在油泵的效果下,使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下,油霧與上升的氣流相互效果吸附,混在氣流中的塵土與油一同沉降至油池。

(3)油濕介質(zhì)粘附式。塵土在氣流效果下磕碰用真空泵油浸濕的介質(zhì)外表而被粘附,常用介質(zhì)有環(huán)狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。

(4)介質(zhì)阻撓式。使用介質(zhì)的機械阻撓效果過濾塵土,常用介質(zhì)有金屬絲網(wǎng)、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。

(5)靜電吸附式。使用真空中氣輝光放電構成等離子體,塵土在等離子體中附著電荷,在電場力效果下被驅(qū)向電極外表而集。

(6)混合式。將以上幾種過濾形式進行組合構成混合的過濾形式。







影響真空絕緣水平的主要因素

空隙間隔

真空的擊穿電壓與空隙間隔有著比較清晰的關系。試驗標明,當空隙間隔較小時,擊穿電壓跟著空隙間隔的添加而線性添加,但跟著空隙間隔的進一步添加,擊穿電壓的添加減緩,即真空空隙發(fā)作擊穿的電場強度跟著空隙間隔的添加而減小。當空隙到達一定的長度后,單靠添加空隙間隔進步耐壓水平已經(jīng)好不容易,這時選用多斷口反而比單斷口有利。在塵土量較少時,可以由泵油過濾系統(tǒng)濾除,但塵土量較大時,為不讓真空泵損壞,讓真空泵的正常運轉要使用除塵器。

一般以為短空隙下的穿主要是場致發(fā)射引起的,而長空隙下的的穿則主要是微粒效應所致。