元素氟和硫直接反應法。

直接電解法　將硫、二氯化liu、一氯化硫、二liu化碳或硫化氫等加入到無水氟化氫中，以鎳為陽極進行電解即可制得六氟化硫。用硫化氫與無水氫氟酸電解時，以鎳作極，鐵作陰極，溫度為－10～20℃，電壓為7～20V。電解產物應除去雜質;催化氧化法　金屬氧化物為催化劑，于300℃下，用空氣氧化四氟hua硫，該法缺點是收率過低。包裝方法：鋼質氣瓶運輸注意事項：鐵路運輸時需經生物試驗證明合格，根據合格證托運。

熱解法，在500～2000℃使SF4熱解，但該法的轉換率及收率皆低，采用微波放電分解SF4亦可。氟hua鈷法　將硫磺或其他硫化物在三fu化鈷和二氯hua鈷存在下與過量氟作用以制備六氟化硫。二氧化硫與氟燃燒法。聯產法　氯氟代甲烷和六氟化硫聯產，氟化碳（COF2）與六氟化硫聯產。SF6氣體絕緣的全封閉開關設備比常規(guī)的敞開式高壓配電裝置占地面積小得多，且其運行不受外界氣象和環(huán)境條件的影響，因此不僅廣泛用于超高壓和特高壓電力系統(tǒng)，而且已開始用于配電網絡(SF6氣體絕緣的開關柜和環(huán)網供電單元)。

1、主要用于高壓開關中滅弧，在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用。可在核粒子jia速器及避雷器X射線設備中作為氣體的絕緣材料，利用SF6化學穩(wěn)定性好，對設備不腐蝕，在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑（操作溫度在－45～0℃之間），SF6對α-粒子有高度的停止能力，故在放i射化學中也有應用；由于有些有毒物質是氣態(tài)存在的，呼吸時有可能進入體內，所以六氟化硫防護需要使用過濾器。也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。

2、用作電子設備和雷達波導的氣體絕緣體。

泄漏應急處理

SF6氣體已有百年歷史，它是法國兩位化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃（核軍事）。

應急處理：迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。

氣體監(jiān)測

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現使人窒息的危險，設計戶內通風裝置時要考慮到這一情況。

在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測設備。

1）電化學技術（TGS830、TGS832）費加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。電化學技術的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應的化學反應，從而產生電信號的改變，以此來發(fā)現被檢測氣體。電化學技術其成本低、壽命長、結構簡單，可以連續(xù)工作的特點。目前國內使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產線約有50條左右預計。