密封氣介質的選用也很講究，一般用氮氣或儀表空氣，對于沒有精塔的的無氫制流程，為防止密封氣的滲入使精含氮不合格，循環(huán)泵的密封氣選用氣或采用泵側用氧氣電機側用氮氣雙密封方式。低溫泵在獲取潔凈和無油真空方面，具有其他產品無法相比的優(yōu)勢。它可以作為研究其他真空泵對真空污染程度的標準；低溫泵在抽除水蒸汽和其他潮濕混合氣方面具有較大抽速。