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這種情況比較復(fù)雜，因?yàn)橹車鷼怏w介質(zhì)即使稍微漏入真空腔內(nèi)，也會(huì)使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設(shè)備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對(duì)真空條件下進(jìn)行的各種工藝過(guò)程的質(zhì)量有決定性的影響。

　　真空器件所使用的機(jī)械密封在結(jié)構(gòu)上并無(wú)特殊之處。對(duì)于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營(yíng)型單端面機(jī)械密封。第二種情況則要用雙端面機(jī)械密封，若使用單端面密封，勢(shì)必存在密封端面不能獲得潤(rùn)滑的問(wèn)題。

密封面內(nèi)圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進(jìn)入密封面或安裝不當(dāng)造成的。密封面上的環(huán)形溝槽，多數(shù)是固體微粒沉積于密封面而引起的。

石墨環(huán)（動(dòng)環(huán)）的裂紋是由于傳動(dòng)件的振動(dòng)，橡膠圈的漲大以及石墨環(huán)本身的內(nèi)應(yīng)力造成的，而結(jié)焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫?zé)嵊徒橘|(zhì)中是常見(jiàn)的。

對(duì)于質(zhì)量較差的石墨環(huán)（動(dòng)環(huán)）來(lái)講，其內(nèi)部氣孔較多，這是因?yàn)樵谥圃爝^(guò)程中，聚集在石墨內(nèi)部的氣體膨脹將碳微粒吹出的所致，因此這種低質(zhì)的石墨環(huán)在密封啟用中，其碳微粒很容易脫落，而使密封面在密封停用時(shí)粘住。

渣漿泵起動(dòng)前，應(yīng)保持密封腔內(nèi)充滿液體或被密封之介質(zhì)，如有單獨(dú)密封系統(tǒng)應(yīng)起動(dòng)之，冷卻水系統(tǒng)亦須開(kāi)始流通。

正常使用前，先進(jìn)行常壓運(yùn)轉(zhuǎn)，觀察密封部位的溫升是否正常，有否泄漏現(xiàn)象。如有輕微泄漏，可以跑合一段時(shí)間，使端面貼合得更加均勻，至泄漏量逐漸減少到正常為止。如運(yùn)轉(zhuǎn)1—3小時(shí)，泄漏量仍不減少，則需停車檢查。

正常工況運(yùn)轉(zhuǎn)，升壓升溫可分別緩慢進(jìn)行，并注意端面的溫升和泄漏情況，如一切正常，說(shuō)明即可投入生產(chǎn)使用。

機(jī)械密封使用的固定螺釘，不要用硬化后的材料來(lái)做，因熱處理會(huì)降低金屬的耐蝕能力，而未經(jīng)熱處理的較軟的固定螺釘能緊固在軸上。

振動(dòng)、偏斜、不同心會(huì)使傳動(dòng)件磨損，如密封面啟動(dòng)時(shí)有粘住的現(xiàn)象時(shí)，傳動(dòng)件會(huì)彎曲甚至損壞，而磨擦作用產(chǎn)生的熱常常加劇腐蝕。