半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法

現(xiàn)今社會，無塵凈化車間的裝修被很多生產(chǎn)型企業(yè)所重視，無塵凈化車間不僅能對產(chǎn)品的精度、質(zhì)量、穩(wěn)定性及成功率等都有顯著的作用，同時還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法。因為半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點，使用其他的處理技術(shù)難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。

凈化廠房的凈化車間設(shè)備

凈化廠房的凈化車間設(shè)備：凈化車間進風系統(tǒng)要安裝新風過濾箱、凈化空調(diào)末端要有送風口。必要時要安裝凈化增壓箱。凈化車間回風系統(tǒng)：回風口、過濾初效器、中效回風箱；凈化車間前入緩沖區(qū)：緩沖區(qū)門安裝電子互鎖，更衣處放置潔凈儲衣柜、空氣清新機凈化廠房裝修中人、貨物進入凈化車間必須經(jīng)過風淋室（貨淋室），傳遞窗傳遞小物品；凈化廠房裝修中在凈化車間局部需要達到10——1000級的地方安裝垂直層流工作臺、層流罩（FFU）潔凈棚（可移動式工作棚）、自凈器。測無塵室潔凈度用激光塵埃粒子計數(shù)器。

廠房裝修注重消防報批 廠區(qū)方面的要求首先就是安全，為了安全一定不要忽視消防器材安裝，安裝消防設(shè)施前需要到當?shù)氐南谰诌M行報批，工程完工后還需要報審。一般報批消防手續(xù)需要10天左右才可以完成，所以在裝修前應(yīng)先找消防公司進行此項工程的洽商。在現(xiàn)代的廠房裝修中對消防的要求也有一定的規(guī)范，如果廠房要吊頂，場內(nèi)所有的噴口一定要漏出吊頂一定尺寸，而且要保持水平。