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發(fā)布時(shí)間:2021-05-01 06:46  

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雙頻激光干涉儀

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種外差式干涉儀。

在激光器上,加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。為什么要校驗(yàn)三坐標(biāo)的測(cè)針校驗(yàn)三坐標(biāo)測(cè)針主要有兩個(gè)原因:為了得到測(cè)針的紅寶石球的補(bǔ)償直徑和不同角度測(cè)針位置與一個(gè)角度測(cè)針位置之間的關(guān)系。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生f1和f2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。


為什么要校驗(yàn)三坐標(biāo)的測(cè)針

校驗(yàn)三坐標(biāo)測(cè)針主要有兩個(gè)原因:為了得到測(cè)針的紅寶石球的補(bǔ)償直徑和不同角度測(cè)針位置與一個(gè)角度測(cè)針位置之間的關(guān)系。氮化硅與鋁之間沒(méi)有吸附性,因此不存在紅寶石測(cè)球在類(lèi)似場(chǎng)合所發(fā)生的粘附磨損現(xiàn)象。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在進(jìn)行測(cè)量任務(wù)時(shí),是用三坐標(biāo)測(cè)針的紅寶石球接觸被測(cè)零件的測(cè)量部位,此時(shí)三坐標(biāo)測(cè)頭(傳感器)所發(fā)出觸測(cè)信號(hào),該信號(hào)進(jìn)入光柵計(jì)數(shù)系統(tǒng)后,將此時(shí)的光柵計(jì)數(shù)鎖存并發(fā)送到測(cè)量機(jī)控制柜中,工作中的測(cè)量機(jī)控制柜就會(huì)收到一個(gè)由三坐標(biāo)X、Y、Z 坐標(biāo)表示的位置點(diǎn),這個(gè)位置點(diǎn)我們可以理解為是三坐標(biāo)測(cè)針紅寶石球中心的坐標(biāo),但它與我們真正需要的測(cè)針紅寶石球心與工件接觸點(diǎn)還相差著一個(gè)紅寶石球的半徑。為了準(zhǔn)確計(jì)算出我們所要的接觸點(diǎn)坐標(biāo),必須通過(guò)三坐標(biāo)測(cè)頭校驗(yàn)得到測(cè)針紅寶石球的半/直徑。

球桿儀測(cè)量誤差方法研究

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,測(cè)量技術(shù)和測(cè)量工具長(zhǎng)足的進(jìn)步。干涉測(cè)量法說(shuō)明通過(guò)使用兩束光(通常將一束光分為兩束光),可在其疊加時(shí)形成干涉圖。從原始的目測(cè)、步測(cè)法到后來(lái)的米尺、游標(biāo)卡尺、千分尺等測(cè)量法,再到應(yīng)變片、電流電壓感應(yīng)等測(cè)量法,電磁相干和相位測(cè)量,光柵測(cè)量到現(xiàn)在的激光測(cè)量。 DBB-Double ball bar)是ISO230-4中所推薦的一種方法。