原子層沉積是在一個加熱反應(yīng)器中的襯底上連續(xù)引入至少兩種氣相前驅(qū)體物種，化學(xué)吸附的過程直至表面飽和時就自動終止，適當(dāng)?shù)倪^程溫度阻礙了分子在表面的物理吸附。

       目前可以沉積的材料包括：氧化物，氮化物，氟化物，金屬，碳化物，復(fù)合結(jié)構(gòu)，硫化物，納米薄層等。 中空納米管，隧道勢壘層，光電電池性能的提高，納米孔道尺寸的控制，高高寬比納米圖形，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的反靜態(tài)阻力涂層和疏水涂層的種子層，納米晶體，ZnSe涂層，納米結(jié)構(gòu)，中空納米碗，存儲硅點(diǎn)涂層，納米顆粒的涂層，納米孔內(nèi)部的涂層，納米線的涂層。

       真空絕緣是利用真空條件下不存在或微量存在粒子，而避免在一定的電場作用下形成的帶電粒子移動而導(dǎo)致電流放電，從而達(dá)到絕緣的目的。該絕緣方式不同于固相、液相和氣相的絕緣機(jī)理，對于航天電子產(chǎn)品的特殊的外層空間工作條件，真空絕緣機(jī)理可以得到充分的利用。通過真空鍍膜設(shè)備，在真空絕緣實(shí)施過程中，為了保證電極表面的“潔凈”，通過對表面采用了真空氣相沉積工藝，在表面形成一定厚度的Parylene材料的涂層防護(hù)，避免了電極表面的粒子放電，阻止電極之間表面爬電的條件，通過試驗(yàn)驗(yàn)證，獲得了較理想的真空絕緣性能，滿足了產(chǎn)品的實(shí)際應(yīng)用。實(shí)踐證明，利用Parylene材料進(jìn)行配合真空絕緣的實(shí)施，在工程上是一種新的有效的絕緣方式的嘗試。

       困擾聽障人士的，莫過于助聽器的日常護(hù)理工作，助聽器怕臟怕潮濕，而且助聽器內(nèi)的電子元件小型化，抗干擾，等要求，更需要適應(yīng)各種惡劣的工作環(huán)境。隨著防水、防潮、防塵技術(shù)的不斷發(fā)展，派瑞林（Parylene）真空納米鍍膜技術(shù)在提升助聽防護(hù)領(lǐng)域得到了很好的應(yīng)用。

       派瑞林涂層作為一種新型的三防材料，存在環(huán)保wu毒無氣味不污染環(huán)境的先天優(yōu)勢，通過氣相沉積CVD的方式形成一種致密的防護(hù)膜，從而對被涂敷的產(chǎn)品起到防潮防鹽霧防霉菌的三防效果。

       超聲波霧化噴涂設(shè)備在傳感器的制造中的可應(yīng)用于噴灑薄膜聚合物、顏料或其他功能性涂層，例如生物測定安全傳感器和應(yīng)用的傳感器，以及用于其它應(yīng)用的多種傳感器，例如，溫度感測，氣體傳感，化學(xué)檢測，阻抗測量，以及壓力或負(fù)載傳感等等。

       在電子器件的制造中，傳感器噴涂薄膜聚合物和其它化學(xué)物質(zhì)是不可缺少的關(guān)鍵步驟之一，例如現(xiàn)下備受大家歡迎的蘋果手機(jī)，其指紋識別是利用指紋傳感器元件來實(shí)現(xiàn)的，若指紋傳感器元件沒有經(jīng)過噴涂這一功能性涂層，就會導(dǎo)致指紋識別系統(tǒng)工作狀態(tài)不佳不能靈敏識別。在不斷擴(kuò)大的電子市場，人們對于傳感器的制造提出了更高要求，馳飛超聲波對傳感器涂層的噴涂工藝進(jìn)行了優(yōu)化，使得涂層工藝成本下降，涂層超薄且均勻致密。