超純水（Ultrapure water）又稱UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水。反滲透技術(shù)結(jié)合高效臭氧消毒方法，整個系統(tǒng)工作于常溫、低壓狀態(tài)，設備投資省，運行維護費用低，可靠節(jié)能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經(jīng)濟，極具競爭力。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細菌、病毒、含氯二噁i英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用于超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當?shù)某R界精細技術(shù)的制備過程。

簡單認識一下實驗室超純水機，自來水經(jīng)過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質(zhì)純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，其水質(zhì)可以達到國家三級水標準，同時反滲透裝置產(chǎn)水的廢水（亦稱“濃水”）排掉。實踐告訴我們：保持一個系統(tǒng)的純凈比清理一個受到污染的系統(tǒng)要簡單得多。反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。