真空鍍膜設(shè)備背壓檢漏法

背壓檢漏法是一種充壓檢漏與真空檢漏相結(jié)合的方法，真空鍍膜設(shè)備中多用于封離后的電子器件、半導(dǎo)體器件等密封件的無(wú)損檢漏技術(shù)中。

其檢漏過(guò)程基本上可分為充壓、凈化和檢漏三個(gè)步驟。

(1)充壓過(guò)程是將被檢件在充有高壓示漏氣體的容器內(nèi)存放一定時(shí)間，如被檢件有漏孔，示漏氣體就可以通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件的內(nèi)部，并且將隨浸泡時(shí)間的增加和充氣壓力的升高，被檢件內(nèi)部示漏氣體的分壓力也必然會(huì)逐漸升高。

(2)凈化過(guò)程是采用干燥氮?dú)饬骰蚋稍锟諝饬髟诔鋲喝萜魍獠炕蛟谄鋬?nèi)部噴吹被檢件。

如不具備氣源時(shí)也可使被檢件靜置，以便去除吸附在被檢件外表面上的示漏氣體。

在凈化過(guò)程中，因?yàn)橛幸徊糠謿怏w必然會(huì)從被檢件內(nèi)部經(jīng)漏孔流失，從而導(dǎo)致被檢件內(nèi)部示漏氣體的分壓力逐漸下降，而且凈化時(shí)間越長(zhǎng)，示漏氣體的分壓降就越大。

(3)檢漏過(guò)程則是將凈化后的被檢件放入真空室內(nèi)，將檢漏儀與真空室相連接后進(jìn)行檢漏。

抽真空后由于壓差作用，示漏氣體即可通過(guò)漏孔從被檢件內(nèi)部流出，然后再經(jīng)過(guò)真空室進(jìn)入檢漏儀，按檢漏儀的輸出指示判定漏孔的存在及其漏率的大小。

真空鍍膜機(jī)鍍制薄膜不均勻的解決方法

隨著鍍膜技術(shù)的快速增長(zhǎng)，各種類型的真空鍍膜機(jī)也開始逐漸出現(xiàn)。但是論起薄膜的均勻性，恐怕所有的真空設(shè)備鍍制的薄膜的均勻性都會(huì)受到某種因素影響。

對(duì)此，真空鍍膜機(jī)廠家指出，它的運(yùn)作原理其實(shí)很簡(jiǎn)單。就是通過(guò)真空狀態(tài)下正交磁場(chǎng)使電子轟擊Ar氣形成的Ar離子再轟擊靶材，靶材離子沉積于工件表面成膜。如此車燈鍍膜機(jī)廠家就該考慮與膜層厚度的均勻性有關(guān)的有真空狀態(tài)、磁場(chǎng)、Ar氣這三個(gè)方面。

真空狀態(tài)就需要抽氣系統(tǒng)來(lái)控制的，每個(gè)抽氣口都要同時(shí)開動(dòng)并力度一致，這樣就可以控制好抽氣的均勻性，如果抽氣不均勻，在真空室內(nèi)的壓強(qiáng)就不能均勻了，壓強(qiáng)對(duì)離子的運(yùn)動(dòng)是存在一定的影響的。另外抽氣的時(shí)間也要控制，太短會(huì)造成真空度不夠，但太長(zhǎng)又浪費(fèi)資源，不過(guò)有真空計(jì)的存在，要控制好還是不成問(wèn)題的。

真空鍍膜機(jī)原理和各部件分析

機(jī)械泵：也叫前級(jí)泵，機(jī)械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

1、機(jī)械泵的分類：機(jī)械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用廣泛，本文主要介紹)四種類型。

2、機(jī)械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設(shè)計(jì)與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級(jí)泵可以將容器從大氣抽到1、0*10-1PA的極限真空，雙級(jí)機(jī)械泵可以將容器從大氣抽到6、7*10-2帕，甚至更高

3、機(jī)械泵常常被用來(lái)抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過(guò)高和腐蝕性的氣體，機(jī)械泵一般被用來(lái)抽除氣體，但是對(duì)水氣沒(méi)有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是彈片、定子、轉(zhuǎn)子等，轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個(gè)內(nèi)切圓，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。

磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線系統(tǒng)設(shè)計(jì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的特點(diǎn)

1、生產(chǎn)線采用PLC全過(guò)程控制，并配有彩色顯示屏，顯示鍍膜工藝過(guò)程參數(shù)等；

2、實(shí)時(shí)動(dòng)畫形式顯示監(jiān)控磁控鍍膜生產(chǎn)線的工藝流程。磁控鍍膜生產(chǎn)線的設(shè)備是密封的，生產(chǎn)時(shí)看不見(jiàn)玻璃在真空室里面的運(yùn)行情況，通過(guò)通用組態(tài)式監(jiān)控系統(tǒng)形象的動(dòng)畫功能來(lái)實(shí)時(shí)反應(yīng)玻璃在密封真空室里的運(yùn)行情況，讓現(xiàn)場(chǎng)操作工對(duì)整個(gè)生產(chǎn)流程了若指掌。

3、系統(tǒng)功能豐富：包括手/自動(dòng)模式選擇、工藝方案選擇、數(shù)據(jù)檢測(cè)記錄、故障報(bào)警記錄、自動(dòng)診斷保護(hù)、操作權(quán)限限定等等。系統(tǒng)組成結(jié)構(gòu)圖上位監(jiān)控系統(tǒng)采用的是通用組態(tài)式監(jiān)控系統(tǒng)，其與下位控制系統(tǒng)的三菱FX2NPLC通信方式采用RS-232串行通訊方式。LG變頻器及真空泵、抽氣閥等都是由三菱FX2N-PLC來(lái)控制，而PLC通過(guò)一個(gè)擴(kuò)展的232BD模塊與計(jì)算機(jī)相連。軟件系統(tǒng)完成的主要功能

1、以實(shí)時(shí)動(dòng)畫形式監(jiān)控磁控鍍膜生產(chǎn)線的工藝流程，監(jiān)控電機(jī)、真空泵、抽氣閥等部件的運(yùn)行狀態(tài)；

2、記錄設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生的實(shí)時(shí)報(bào)警信息；

3、PLC輸入、輸出點(diǎn)實(shí)時(shí)監(jiān)控?？偨Y(jié)該系統(tǒng)現(xiàn)場(chǎng)運(yùn)行情況良好，數(shù)據(jù)讀寫速率快，報(bào)警功能、設(shè)備動(dòng)作控制等各項(xiàng)功能均達(dá)到設(shè)計(jì)要求，且快速、準(zhǔn)確無(wú)誤，主畫面上的動(dòng)畫過(guò)程與現(xiàn)場(chǎng)的生產(chǎn)流程配合較好，使用該系統(tǒng)可以非常方便的監(jiān)控整條生產(chǎn)線的運(yùn)行?！安僮骱?jiǎn)單，畫面精美，軟件與設(shè)備的通訊性能優(yōu)越，大大提升系統(tǒng)形象”通用組態(tài)式監(jiān)控系統(tǒng)軟件突出性能給予的評(píng)價(jià)。