淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置，它的旋轉(zhuǎn)速度高達90000RPM（1500轉(zhuǎn)／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十億分之二個大氣壓），并且它設計緊湊，體積小，重量輕。主要有兩個系列：STP和EXT，主要區(qū)別是EXT系列的回轉(zhuǎn)軸承是陶瓷的，而STP系列的回轉(zhuǎn)軸承是用磁性材料制成的。型號：RV3、RV5、RV8、RV12●中型EM系列泵是結(jié)實耐用的機械油封泵，抽速為18和28m3/hr。

五、羅茲泵

EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵，其抽氣率從240m3／h到4500m3／h，極限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽氣率，常串油式或干式泵使用

六、真空計

愛德華真空計測量范圍從2000-10-11mbar，內(nèi)設先進的微處理器控制；

渦旋真空泵的主要性能表征參數(shù)

5.1.1間隙大小

   間隙包括軸向間隙和徑向間隙。由于軸向間隙只是由設計精度、加工精度和

裝配精度進行控制的，也比較容易控制，在此不做過多的介紹。而徑向間隙可以

由式((2.11)計算得到，即

                         e二，*R,-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽氣速率

   理論抽氣速率Sth是由泵的幾何尺寸、轉(zhuǎn)速和是否是雙側(cè)渦旋共同決定的一

個反映抽氣性能的參數(shù)，也叫幾何抽速。假設轉(zhuǎn)速為n(轉(zhuǎn)/秒)，并且該禍旋泵

為雙側(cè)渦旋，那么Sth可表達為下式:

                     S1,=2仇、 Vol卜(5.2)

   其中VII, Vo;分別為轉(zhuǎn)子和定子所形成的外層完整內(nèi)壓縮腔和外層完整外壓

縮腔的容積。、

   實際抽速是指泵實際排出氣的速率。由于渦旋無油泵存在著軸向和徑向泄

漏，其實際抽速S要低于理論抽速Sth，設P:為吸入口壓力，P:為排氣口壓力，

Q。為總泄漏，則〔10)

                                 S*PL=Sw*P,司t

則實際抽速為

       g

J=J'*一下了

         r,

(5.3)

5.1.3極限壓力

   渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進入氣體長期運轉(zhuǎn)，在測試罩內(nèi)所能達

到的穩(wěn)定時的低壓力，用P。表示。此時泵的實際抽速S=O，令式((5.3)中的實際

抽速S=O，即可得極限壓力〔10)

(5.4)

設備的參數(shù)相同，但是真空泵內(nèi)在的技術不一樣，所以可靠性還有噪音震動，這些方面的數(shù)據(jù)也都會存在差異，我們作出選擇的過程中，盡量的去選擇那些可靠性更高，噪聲更低，震動更小的設備應用的過程中，才能夠給我們帶來了更多的保障，如果設備內(nèi)在的技術不成熟，使用的過程中存在著各種問題，那么不僅會對周圍的環(huán)境帶來影響，也會給我們造成不利的問題發(fā)生，因此大家應該正確的去認識。這一制程不會產(chǎn)生氮、硫、氧和芳香烴類，因此可得到無任何雜質(zhì)的清潔基料。