氦質(zhì)譜檢漏儀

支持正壓檢漏，負壓檢漏

自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結(jié)果

優(yōu)化設(shè)計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應

高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?？焖偾搴?

支持氮氣破空，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底

機器的性能支持7*24小時長時間在線測試

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氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理

對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，氦質(zhì)譜檢漏儀的真空度可能抽不上去，使氦質(zhì)譜檢漏儀無法工作。氦質(zhì)譜檢漏儀氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對被檢件的抽速。的輔助真空系統(tǒng)只需一個機械泵和兩個閥門，復雜的系統(tǒng)可由前級泵、次級泵、閥門、真空規(guī)及標準漏孔等組成。次級泵可用擴散系或羅茨泵，前級系氣鎮(zhèn)式機械泵。

標準漏孔的自身要符合相關(guān)的質(zhì)量要求。標準漏孔能自帶第三方的檢測證書。例如，美國國家計量院NIST；中國國家計量院，或有資質(zhì)的檢定機構(gòu)；德國的DKD等。氦質(zhì)譜檢漏儀氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量（在空氣中約含5。標準漏孔要通過有標準漏孔檢定資質(zhì)的第三方，進行檢定。以此來保證標準漏孔本身沒有問題。標準漏孔要經(jīng)常檢定、校準。建議每年進行一次校準。