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發(fā)布時間:2021-03-25 22:34  
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公司產品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質量掩膜版以及后期的代加工服務!
濺鍍法(Sputtering):(1)上平行板:裝載濺鍍金屬的靶材;下平行板:作為濺鍍對象的玻璃基板。(2)將氣(Ar 2 )通入反應艙中形成等離子體;離子(Ar )在電場中被加速后沖撞靶材;受沖擊的靶材原子會沉積在玻璃基板上從而形成薄膜。
制版(platemaking)是將原稿成印版的統(tǒng)稱。半導體集成電路制作過程通常需要經過多次光刻工藝,在半導體晶體表面的介質層上開鑿各種摻雜窗口、電極接觸孔或在導電層上刻蝕金屬互連圖形。有將鉛活字排成活字版,以及用活字版打成紙型現(xiàn)澆鑄成凸版和將圖像經照像或電子分色獲得底片,用底片曬制凸版、平版、凹版等一系列的制版方法。在制版中影響印版質量的因素,主要有顯影液濃度、顯影溫度和顯影時間以及顯影液的循環(huán)攪拌情況、顯影液的疲勞程度等。
機顯時還要注意以下幾點:①要定期維護顯影機,以保證已曝光的PS版顯影能正常進行。用選定的圖像、圖形或物體,對處理的圖像(全部或局部)進行遮擋,來控制圖像處理的區(qū)域或處理過程。②在顯影之前必須保持各傳動輥清潔,若牽引輥不干凈,顯影時印版易粘上臟點。③如顯影機有涂膠裝置,一定注意膠輥要保持清潔,否則要弄臟印版。④一般情況下,陽圖PS版顯影液(原液)的顯影能力為10m2/L。⑤上保護膠時,一定要均勻施膠,不能太厚,以免干后導致涂層龜裂和掉版。
光刻工藝
是半導體器件制造工藝中的一個重要步驟,利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫器件結構,再通過刻蝕工藝將掩膜上的圖形轉換到襯底上。原位芯片目前掌握電子束光刻,步進式光刻,接觸式光刻等多種光刻技術.
光學掩模板在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并,以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過干版還有包膜和超微顆粒干版,其中后者可以應用于芯片制造。掩膜版應用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成電路)、FPD(Flat Panel Display,平板顯示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷電路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微機電系統(tǒng))等。