真空檢漏

超聲波法

該方法實(shí)際上是聽(tīng)音法的一種。它是將泄漏聲音中可聽(tīng)頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測(cè)出泄漏。檢測(cè)時(shí)，可以直接使用超聲波檢測(cè)器，根據(jù)檢測(cè)儀表指針是否擺動(dòng)，確定有無(wú)泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽(tīng)頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，用氦氣作為示漏檢測(cè)氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗(yàn)物加壓時(shí)可以使用，在抽真空時(shí)，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時(shí)也可以使用。

超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測(cè)超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗(yàn)物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點(diǎn)與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關(guān)。當(dāng)泄漏點(diǎn)與探頭距離很近時(shí)，超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。

檢漏時(shí)將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大，一邊移動(dòng)探頭，一邊偵聽(tīng)，使能聽(tīng)到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到較大。然后，再尋找發(fā)出超聲波的位置，以便確定泄漏點(diǎn)。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時(shí)，就很準(zhǔn)確地判斷出泄漏點(diǎn)。所有的氦氣檢漏儀器機(jī)構(gòu)的離子收集板，對(duì)氦氣都會(huì)產(chǎn)生記憶效應(yīng)，即氦離子打到離子收集板上，并儲(chǔ)存一定時(shí)間，然后再慢慢釋放出來(lái)，從而造成本底的噪音等問(wèn)題。這種方法操作簡(jiǎn)便，人為因素較小，不同檢測(cè)人員所得到的檢測(cè)結(jié)果基本相同。

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真空設(shè)備檢漏

聽(tīng)音法

氣體從小孔中噴出時(shí)，會(huì)發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類(lèi)等。根據(jù)氣體漏出時(shí)發(fā)出的聲音判斷有無(wú)泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽(tīng)清。使用聽(tīng)診qi，某種程度上可以消除周?chē)胍舻挠绊?，?tīng)清泄漏聲音，但有時(shí)與泄漏無(wú)關(guān)的聲音（例如電機(jī)的聲音）也會(huì)混雜進(jìn)來(lái)，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗(yàn)物加壓時(shí)可以使用，在抽真空時(shí)，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時(shí)也可以使用。但此時(shí)其它聲音也同時(shí)放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測(cè)壓力為0.3MPa，周?chē)浅０察o的條件下，可以聽(tīng)出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)。使用聽(tīng)診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點(diǎn)。如單憑耳朵聽(tīng)，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點(diǎn)，即發(fā)聲地點(diǎn)。由于檢測(cè)環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測(cè)法并用。

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北京科儀創(chuàng)新真空專(zhuān)注氣密性檢測(cè)設(shè)備研發(fā)，生產(chǎn)、銷(xiāo)售20年。目前氦氣資源的匱乏。在市場(chǎng)上氦氣的價(jià)格一直居高不下。大大增加企業(yè)生產(chǎn)檢漏的運(yùn)營(yíng)成本。2012年北京科儀創(chuàng)新真空全球首推氫氣檢漏系統(tǒng)。在我國(guó)氫氣制備工藝成熟。氦質(zhì)譜檢漏方法（以下簡(jiǎn)稱氦檢）以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。價(jià)格便宜。詳細(xì)請(qǐng)咨詢圖片上的電話聯(lián)系獲取詳細(xì)技術(shù)資料。

水壓法

對(duì)壓力容器或密封裝置進(jìn)行試驗(yàn)時(shí)，先將容器或密封裝置內(nèi)部裝滿水，再用水泵向里注水，觀察設(shè)備或密封裝置周?chē)袩o(wú)水漏出。檢漏時(shí)必須耐心等待，直至水泄漏出來(lái)。因此，只能抽象地表示靈敏度的高低。根據(jù)被檢物表面是否有水滲出，很容易判斷出泄漏點(diǎn)。但是，對(duì)于結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜的設(shè)備，肉眼可能無(wú)法直接觀察到泄漏點(diǎn)。只要水壓不變，泄漏率大小就不會(huì)發(fā)生很大變化，因而可以獲得較為一致的結(jié)果。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。當(dāng)然由于檢漏人員的觀測(cè)技巧不同，檢測(cè)結(jié)果也不會(huì)完全相同。除水泵外，水壓法檢漏無(wú)需大型、貴重設(shè)備，因而很經(jīng)濟(jì)。

并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置，可以通過(guò)對(duì)可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來(lái)完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過(guò)測(cè)量待測(cè)器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來(lái)獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測(cè)器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測(cè)試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對(duì)待測(cè)器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測(cè)器件內(nèi)部無(wú)法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過(guò)檢測(cè)器壁外的大氣來(lái)進(jìn)行測(cè)量的，大氣中的氦會(huì)帶來(lái)一個(gè)較高的漏率本底。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后，可能在出廠前還會(huì)使用鹵素檢漏儀對(duì)整個(gè)產(chǎn)品再進(jìn)行一次檢漏。這個(gè)本底雖可通過(guò)置零來(lái)清除，但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測(cè)漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。