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氣體質(zhì)量流量控制器公司承諾守信,北京曉韜科技有限公司

發(fā)布時(shí)間:2021-05-04 12:47  

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質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍: 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

特點(diǎn):流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小。



質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn),當(dāng)輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符,其實(shí)原因很簡(jiǎn)單,因?yàn)樵贛FC行業(yè)中,有一種參數(shù)叫CF,即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)(下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF)。而MFC行業(yè)中又把N2(氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00,其他的氣體以氮?dú)鉃橹行模植荚?.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02(氧氣)、H2(氫氣)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話(huà),簡(jiǎn)單的分析其比率,用各自的CF值計(jì)算即可。

假設(shè)某臺(tái)MFC是用N2標(biāo)定的,但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He,實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠家的He的CF值稍有不同,但大約都在1.4,所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數(shù)時(shí),是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái),如果N2流過(guò)He的MFC,實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71,少30%的流量。

因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時(shí),考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同



質(zhì)量流量計(jì)簡(jiǎn)介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數(shù),是一個(gè)因變量,而流體的質(zhì)量是一個(gè)不隨時(shí)間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述,常用的流量計(jì)中,如孔板流量計(jì)、層流質(zhì)量流量計(jì)、渦輪流量計(jì)、渦街流量計(jì)、電磁流量計(jì)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、超聲波流量計(jì)和橢圓齒輪流量計(jì)等的流量測(cè)量值是流體的體積流量。在科學(xué)研究、生產(chǎn)過(guò)程控制、質(zhì)量管理、經(jīng)濟(jì)核算和貿(mào)易交接等活動(dòng)中所涉及的流體量一般多為質(zhì)量。采用上述流量計(jì)僅僅測(cè)得流體的體積流量往往不能滿(mǎn)足人們的要求,通常還需要設(shè)法獲得流體的質(zhì)量流量。以前只能在測(cè)量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數(shù)后,通過(guò)修正、換算和補(bǔ)償?shù)确椒ㄩg接地得到流體的質(zhì)量。這種測(cè)量方法,中間環(huán)節(jié)多,質(zhì)量流量測(cè)量的準(zhǔn)確度難以得到保證和提高。隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,相繼出現(xiàn)了一些直接測(cè)量質(zhì)量流量的計(jì)量方法和裝置,從而推動(dòng)了流量測(cè)量技術(shù)的進(jìn)步。

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MFC質(zhì)量流量控制簡(jiǎn)介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫(xiě),即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)管壁產(chǎn)生一個(gè)力,它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的,簡(jiǎn)稱(chēng)科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ),在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管,中部裝有驅(qū)動(dòng)線(xiàn)圈,兩端裝有拾振線(xiàn)圈,變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線(xiàn)圈上時(shí),振動(dòng)管作往復(fù)周期振動(dòng),工業(yè)過(guò)程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管,就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng),使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng),安裝在振管兩端的拾振線(xiàn)圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào),這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí),振管的主振頻率不同,據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。