放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短時間內發(fā)生分解等離子體去除污染物。該方法具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩(wěn)定、操作管理簡便、即開即用等優(yōu)點。

2.3廢氣焚燒爐：在歐系汽車廠家(如一汽大眾、上海大眾、東風神龍、華晨寶馬)，涂裝烘干的廢氣處理和烘房供熱多采用廢氣焚燒爐處理烘干廢氣和為烘干室供熱。2.3.1焚燒爐原理：有機廢氣先經過熱交換器升溫后作為燃燒機的助燃風進入焚燒爐膛焚燒，爐膛內有機廢氣和火焰充分混合，混合氣體溫度達750℃左右，在焚燒爐膛中，有機廢氣分解成為凈化尾氣，

2.3.2焚燒爐優(yōu)點：廢氣焚燒爐在為烘房供熱的同時，對烘房產生有機廢氣進行了凈化，一舉兩得。有機廢氣處理效果穩(wěn)定，使用壽命可達20年。2.3.3焚燒爐缺點：由于技術所限，該類焚燒爐鮮有國產化應用，主要由歐洲進口，如WK，Durr，Envirotec等，以一臺8000Nm3/h的進口廢氣焚燒爐為例，僅一套廢氣焚燒爐的價格就達20萬歐元以上，投資巨大。