什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準(zhǔn)確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。工業(yè)爐窯中的燃料流量計如果不可靠，造成流路堵塞，容易導(dǎo)致爐子熄火，釀成事故。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

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流量控制器的穩(wěn)定控制時間

由于到達設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào)，所以通常制造商用到達設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子， 容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程,在工作的過程當(dāng)中,控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降,即壓差。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時到達了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。

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流量控制器

怎樣進行不同氣體的質(zhì)量流量換算？

產(chǎn)品出廠一般是按氮氣標(biāo)定﹑按氮氣流量確定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測量不同的氣體，當(dāng)流量檢測值相同時，實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標(biāo)定氣體（氮氣）的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。

如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（按氮氣標(biāo)定顯示），而需要知道實際使用氣體的質(zhì)量流量時，先在產(chǎn)品說明書中找到實際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測量過程中，以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質(zhì)量流量；反之，在確定所購產(chǎn)品的量程時，以實際使用氣體的期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù)，即是相應(yīng)的氮氣標(biāo)定產(chǎn)品的流量值。怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作,有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。

空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮氣標(biāo)定顯示的產(chǎn)品，不必換算。

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器內(nèi)置MCU多功能微處理器, 可以對采集到的流量信號進行數(shù)字化處理, 進行溫度線性校正, 具有比模擬式產(chǎn)品更高的精度和線性性能。數(shù)字化的PID控制功能, 能提高穩(wěn)定性和智能化地改變響應(yīng)特性。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。串行通訊, 使MFC更便于進行計算機系統(tǒng)控制。數(shù)字化智能化的MFC逐步替代全模擬的MFC, 這是技術(shù)發(fā)展的必然潮流。