氣體管路要求

所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。（比如通風(fēng)柜）。氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。氣體，如需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時，其間距不應(yīng)小于0.5M；交叉敷設(shè)時間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時氫氣管道應(yīng)位于上方。壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進行維修。高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。

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基本功能模塊

數(shù)據(jù)分析及導(dǎo)出 ：所有數(shù)據(jù)可按照用戶設(shè)定的時間段進行導(dǎo)出，方便實驗數(shù)據(jù)分析

實時曲線圖，歷史曲線圖 ： 簡單直觀查看歷史曲線和實時曲線，方便過程監(jiān)控

自動濃度配氣 ：針對配氣實驗需要，可實現(xiàn)濃度自動換算，或根據(jù)濃度值自動分配流量

MFC故障診斷：針對不同型號的MFC可實現(xiàn)故障診斷、報警、處理等功能。

自動吹掃：根據(jù)用戶需要，自動設(shè)定吹掃時間及吹掃方式

自動檢漏 ：可通過截止閥的聯(lián)動，配以一定算法，實現(xiàn)自動檢漏功能

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