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發(fā)布時(shí)間:2020-12-21 12:30  
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CCD傳感器是一種新型光電轉(zhuǎn)換器件,它能存儲(chǔ)由光產(chǎn)生的信號(hào)電荷。當(dāng)對(duì)它施加特定時(shí)序的脈沖時(shí),其存儲(chǔ)的信號(hào)電荷便可在CCD內(nèi)作定向傳輸而實(shí)現(xiàn)自掃描。它主要由光敏單元、輸入結(jié)構(gòu)和輸出結(jié)構(gòu)等組成。它具有光電轉(zhuǎn)換、信息存貯和等功能,而且集成度高、功耗小,已經(jīng)在攝像、信號(hào)處理和存貯3大領(lǐng)域中得到廣泛的應(yīng)用,尤其是在圖像傳感器應(yīng)用方面取得令人矚目的發(fā)展。CCD有面陣和線陣之分,面陣是把CCD像素排成1個(gè)平面的器件;而線陣是把CCD像素排成1直線的器件。由于在軍事領(lǐng)域主要用的是面陣CCD,因此這里主要介紹面陣CCD。
面陣CCD的結(jié)構(gòu)一般有3種。種是幀轉(zhuǎn)性CCD。它由上、下兩部分組成,上半部分是集中了像素的光敏區(qū)域,下半部分是被遮光而集中垂直寄存器的存儲(chǔ)區(qū)域。其優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單并容易增加像素?cái)?shù),缺點(diǎn)是CCD尺寸較大,易產(chǎn)生垂直拖影。第二種是行間轉(zhuǎn)移性CCD。它是目前CCD的主品,它們是像素群和垂直寄存器在同一平面上,其特點(diǎn)是在1個(gè)單片上,價(jià)格低,并容易獲得良好的攝影特性。第三種是幀行間轉(zhuǎn)移性CCD。它是種和第二種的復(fù)合型,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,但能大幅度減少垂直拖影并容易實(shí)現(xiàn)可變速電子快門(mén)等優(yōu)點(diǎn)。
CCD是由許多個(gè)光敏像元按一定規(guī)律排列組成的。每個(gè)像元就是一個(gè)MOS電容器(大多為光敏二極管),它是在P 型Si襯底表面上用氧化的辦法生成1層厚度約為1000A~1500A的SiO2,再在SiO2表面蒸鍍一金屬層(多晶硅),在襯底和金屬電極間加上1個(gè)偏置電壓,就構(gòu)成1個(gè)MOS電容器。當(dāng)有1束光線投射到MOS電容器上時(shí),光子穿過(guò)透明電極及氧化層,進(jìn)入P型Si襯底,襯底中處于價(jià)帶的電子將吸收光子的能量而躍入導(dǎo)帶。光子進(jìn)入襯底時(shí)產(chǎn)生的電子躍遷形成電子-空穴對(duì),電子-空穴對(duì)在外加電場(chǎng)的作用下,分別向電極的兩端移動(dòng),這就是信號(hào)電荷。這些信號(hào)電荷儲(chǔ)存在由電極形成的“勢(shì)阱”中。