凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無(wú)塵車間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無(wú)塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

凈化車間門(mén)檻部位又須根據(jù)運(yùn)輸與人行等不同要求作特殊構(gòu)造處理。一捏單扇平開(kāi)凈化車間門(mén)的四邊縫隙中倒有三邊需作不同的處理，而且雙扇凈化車間門(mén)的中縫也是特殊構(gòu)造。塔式加熱設(shè)備圓柱狀塔內(nèi)有一根鉆有許多小孔的無(wú)縫不銹鋼管用于導(dǎo)入蒸汽，小孔直徑為5-8mm，數(shù)目與導(dǎo)管的橫截面積有關(guān)，且上疏下密。所以在凈化車間門(mén)的設(shè)計(jì)中對(duì)于活動(dòng)縫隙的密封處理是更為突出的問(wèn)題。開(kāi)啟扇與框料相互搭接的槽口尺寸與槽口形式問(wèn)題，是活動(dòng)縫隙密封設(shè)計(jì)小必須注意的重要問(wèn)題。村局、框、五金、密閉條及其作用方式等四個(gè)方面因素要綜合考慮，使它們?cè)跇?gòu)造亡和受力狀態(tài)上相互協(xié)調(diào)，達(dá)到密封的目的。應(yīng)該特別指出，凈化車間門(mén)扇比窗扇大而且重，密封壓緊時(shí)施力要大得多，特別平時(shí)總在不斷啟閉旋轉(zhuǎn)，故還須從控制凈化車間門(mén)扇下垂和保證凈化車間門(mén)扇剛度等方面來(lái)著重考慮五金選用問(wèn)題。

建筑平面設(shè)置應(yīng)該屬建筑專業(yè)的專業(yè)范疇，但由于食品凈化車間要求人、物分流，并要保持各潔凈操作間的靜壓梯度，因此，該工程中建筑平面要求具備以下幾點(diǎn)：

1、各凈化操作間集中設(shè)置獨(dú)立前室為氣閘，氣閘室與各操作間同時(shí)相通，確保低潔凈區(qū)的空氣不向高潔凈區(qū)滲透。

2、實(shí)驗(yàn)室的人的流經(jīng)過(guò)更衣室更衣?lián)Q鞋→清洗間洗手→緩沖間→風(fēng)淋室→各操作室。

3、食品空氣凈化車間物流由外走廊經(jīng)過(guò)機(jī)械連鎖自消毒傳遞窗消毒后進(jìn)入緩沖走廊后再經(jīng)過(guò)傳遞窗進(jìn)入各操作室。

其次，應(yīng)清潔電子工廠潔凈室的人員清潔工作?？諝饬茉￠g應(yīng)安裝在潔凈室的入口。采用低阻力空氣過(guò)濾器：盡量采用低阻力空氣過(guò)濾器，以降低送風(fēng)機(jī)的壓頭損失，減少電能的消耗，或及時(shí)清潔、更換過(guò)濾器，減少系統(tǒng)運(yùn)行阻力，節(jié)省運(yùn)行費(fèi)用。單人空氣淋浴間應(yīng)由較多人數(shù)的30人建立?？諝饬茉￠g的進(jìn)出不得同時(shí)進(jìn)行。打開(kāi)時(shí)，應(yīng)選擇聯(lián)鎖控制措施。如果是潔凈室中設(shè)備和物料的出入口，則應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，還應(yīng)設(shè)置貨物淋浴間。如果物料或產(chǎn)品的轉(zhuǎn)移需要在不同級(jí)別的潔凈室中進(jìn)行，則應(yīng)建立轉(zhuǎn)移窗口。