對于無塵室生產(chǎn)車間來說，灰塵的污染是一種，還有就是靜電的傷害，特別對電子等產(chǎn)品，靜電的危害極大，一不小心就被靜電損傷到，這時候使用防靜電無塵布可以有效地將電子元件表面出現(xiàn)的污漬處理干凈還能夠保護好電子元件免受靜電的危害。門窗與內墻而要平直，結構要充分考慮對空氣和水汽的密封，使污染粒子不易從外部滲入，防止由于室內外溫差而產(chǎn)生結露。

無塵車間的送風量計算與一般空調的不同。一般空調(全空氣系統(tǒng))的送風量是根據(jù)計算出的熱濕負荷，選取經(jīng)濟的送風溫差，按消除余熱、余濕來計算送風量。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A1級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。

　　而無塵車間的送風量計算一般不依賴于熱濕負荷，它主要是根據(jù)不同的潔凈度按斷面平均風速或換氣次數(shù)來計算送風量。必要時，再用熱濕負荷進行送風量的校核計算，一般情況下都能滿足消除余熱、余濕的要求。也就是按斷面平均風速或換氣次數(shù)計算的送風量通常要大于按消除余熱、余濕計算的送風量。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的最1好凈化設備之一，它可以最1大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。

無塵車間潔凈室行業(yè)術語1、潔凈室空氣懸浮粒子濃度受控的房間，它的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。2、潔凈區(qū)潔凈區(qū)又稱潔凈棚，是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間，它的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。3、移動式潔凈小室移動式潔凈小室又稱為移動式潔凈棚，可整體移動位置的小型潔凈室，有剛性和柔性材料圍擋兩類4、人身凈化室人身凈化室又稱風淋室，是人員在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。5、物料凈化用室物料凈化用室又稱貨淋室，是物料進行入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。6、粒徑粒徑是給定粒徑測定儀所顯示的與被測粒子的響應量相當?shù)那蛐沃睆健?、懸浮粒子懸浮粒子用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1-5UM的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理 性、化學性、放1射性及生命體。8、超微粒子超微粒子是具有當量直徑小于0.1UM的粒子。運行管理包括：實時檢測，人員培訓，設備維護，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。9、微粒子微粒子是具有當量直徑大于5UM的粒子10、粒徑分布粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。