復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。輔助設(shè)施必須因地制宜,按實際需要配套,缺一都會影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生,影響生產(chǎn)正常進行。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

    1、無塵室廠區(qū)總圖布局應(yīng)考慮產(chǎn)品工藝特點和防止交叉污染,按生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。

    2、無塵室廠區(qū)功能設(shè)施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設(shè)施以外,還應(yīng)配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時堆放場地、停車庫、機修、飯?zhí)玫容o助設(shè)施.輔助設(shè)施必須因地制宜,按實際需要配套,缺一都會影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生,影響生產(chǎn)正常進行。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再重啟，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

    3、設(shè)置有無塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對位置及與廠內(nèi)其它廠房設(shè)施之間的相對位置,適用于遠離產(chǎn)生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風(fēng)側(cè),并有一定防護距離的原則。

  蘇州卓宇泰公司主營設(shè)備搬遷、設(shè)備包裝，設(shè)備安裝，設(shè)備吊裝，大型廠房搬遷等業(yè)務(wù)。

   無塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。