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發(fā)布時(shí)間:2020-12-20 09:20  
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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。
水環(huán)真空泵的油對(duì)極限壓力的影響較大,在結(jié)構(gòu)相同的擴(kuò)散真空機(jī)組中,真空系統(tǒng)中,被抽氣體的分壓力也會(huì)泵油的不同而變化,在添加泵油的時(shí)候要注意。
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生物粘泥日積月累填充了彈簧的間隙,影響了彈簧在密封中的補(bǔ)償作用,還加劇了動(dòng)、靜環(huán)摩擦副的磨損,影響了輔助密封圈的密封效果。
添加的相關(guān)化學(xué)藥劑對(duì)水環(huán)真空泵的密封圈的緩慢腐蝕會(huì)引起密封失效。
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水環(huán)式真空泵的管路連接也是比較重要的一項(xiàng)工作,在采用管路材質(zhì)及各類閥門時(shí),一定要按照使用說明進(jìn)行,將各管路的連接點(diǎn)做好有效地密封,使其能夠達(dá)到相應(yīng)的范圍內(nèi),如果出現(xiàn)泄漏等問題,應(yīng)該及時(shí)將管路進(jìn)行檢查,看是否是密封造成的問題,及時(shí)的將其進(jìn)行修復(fù),穩(wěn)定水環(huán)泵的運(yùn)行情況。
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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道,避免超壓:
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí),抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵,其成分可能極為復(fù)雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會(huì)形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì),就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng),影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗,并在必要的時(shí)候設(shè)置過濾設(shè)備。
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