鍍膜技術(shù)在集成電路制造中的應(yīng)用 晶體管路中的保護(hù)層（SiO2、Si3N4）、電極管線（多晶硅、鋁、銅及其合金）等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)?？梢姎庀喑练e術(shù)制備集成電路的核心技術(shù)之一。

真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。

裝飾性真空鍍的涂層一般分為底涂層和面涂層兩種，它們主要起提高膜層的結(jié)合力，降低鍍件表面的粗糙度，提高光亮度，保護(hù)金屬膜層的作用。

真空鍍膜設(shè)備若有灰塵，將會影響真空鍍膜的效果和質(zhì)量。所以應(yīng)當(dāng)注意以下幾點：

真空鍍膜設(shè)備使用后，必須要定期對設(shè)備進(jìn)行清潔維護(hù)；保證設(shè)施設(shè)備及操作環(huán)境清潔；

規(guī)范操作人員及操作要求；源材料必須要符合必要的純度要求；降低真空鍍膜設(shè)備室內(nèi)空氣流動性低、盡量減小室外灰塵侵入。

真空鍍膜設(shè)備對底涂層有何要求。

1、對鍍件與鍍膜層有良好的接觸性能，熱膨脹系數(shù)相差小，不起反應(yīng)，流平性能好。

2、具有良好的真空性能。

3、成膜性能好，涂層的致密度、覆蓋能力、抗溶劑能力與耐光照能力等性能良好。

4、與面涂層有良好的相溶性。

5、施涂性能良好。流平性能良好，有適當(dāng)?shù)酿ざ?、固化時間短。

真空鍍膜機(jī)的運(yùn)行狀況會直接影響鍍膜成品的質(zhì)量，為了更好的運(yùn)行，要對真空鍍膜機(jī)進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。

設(shè)備的日常維護(hù)保養(yǎng)是在生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)不正常現(xiàn)象，盡快解決。發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵油減少要添加，不要認(rèn)為油要定期才更換，否者到了維護(hù)時，泵的轉(zhuǎn)子可能會磨損嚴(yán)重。

定期維護(hù)保養(yǎng)，把日常維護(hù)保養(yǎng)和定期維護(hù)保養(yǎng)都做好了，不僅延長了設(shè)備的使用壽命，還減少了運(yùn)行故障，提高生產(chǎn)效率。