同理，真空熱處理是指將金屬及其合金置于真空熱處理設備中，通過加熱、保溫、冷卻等手段改變其內部組織，改變其物理、化學和機械性能，僅僅是加熱方式和冷卻介質不同而已。真空熱處理技術在離子氮化工件中的應用，基本可以劃分為：真空淬火、真空回火、真空退火、真空滲碳、真空氮化、真空滲金屬等。真空淬火是我們日常模具加工常用的方法。


對于共析鋼的沖壓模具鍛件，應先進行正火處理，然后進行球化退火，以消除鍛件內網(wǎng)狀二次滲碳體，細化晶粒，消除內應力，并為后續(xù)熱處理作好組織準備。沖壓凹模零件淬火前，應先進行低溫回火(穩(wěn)定化處理)。對一些形狀較為復雜、精度要求高的凹模，在粗加工后精加工前，應先進行調質處理，以減少淬火變形，盡量避免開裂傾向，并為熱處理作好組織準備。


熱處理的節(jié)能潛力很大，如何采取措施來加強節(jié)能是擺在每一位熱處理工作者面前的重要課題。目前熱處理節(jié)能的措施主要有以下十一種：7、離子化學熱處理　　它是一種在低于一個大氣壓的含有欲滲元素的氣相介質中，利用工件（陰極） 和陽極之間產(chǎn)生輝光放電同時滲入欲滲元素的化學熱處理工藝。如離子滲氮、 離子滲碳、離子滲硫等，具有滲速快、質量好、節(jié)能等優(yōu)點。