真空鍍膜機的陰極電弧技術(shù)

真空鍍膜機的陰極電弧技術(shù)是利用真空環(huán)境下的弧光放電，使固體陰極靶材蒸發(fā)、離化并通過等離子體的強化作用，飛向陽極基體表面沉積成膜的技術(shù)。正因為如此，陰極電弧技術(shù)具有極高的沉積速率。

在含有惰性氣體或反應(yīng)氣體的真空環(huán)境下沉積在基體表面，具有高能量的離子束對于提高膜基結(jié)合力和打亂膜的柱狀晶結(jié)構(gòu)是非常有利的，從而也可大幅度改善膜的組織結(jié)構(gòu)和力學性能。目前，各薄膜設(shè)備制造商通過對成膜原理和工藝的研究采用各種不同的措施來減少“液滴”的產(chǎn)生。

其中BAI1200、RCS是采用圓形平面陰極源技術(shù)和輻射加熱技術(shù),可進行快速鍍膜生產(chǎn)。利用該工藝制備的TiAlN可增強加工工具切削刃的穩(wěn)定性，并使干切削加工成為可能。

維修真空鍍膜機一定要按照步驟操作

日常生活中，我們使用真空鍍膜設(shè)備都會維護，但是很多人維護的方法都很不對，也不按照步驟來拆卸和安裝真空鍍膜機，今天我們就來介紹下真空鍍膜機的維護步驟吧：

首先我們要保證鍍膜機與地面充分接觸，擴散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水并開維持泵。擴散泵和增壓泵停止工作，維持泵半小時后才能關(guān)，1小時后斷水，但泵內(nèi)未冷卻至80℃以下時，不得切斷冷卻水，以防止泵芯燒毀。

擴散泵和增壓泵各留有備用水出口，若鍍膜機故障或停電必須開備用出口讓其冷卻擴散泵和增壓泵，鍍膜工作前必須接通全部設(shè)備冷卻進水，以防止電極和基體材料燒毀。擴散泵和油增壓泵在加熱情況下，切勿與大氣接觸，以免泵油氧化，定期檢查和調(diào)整水流繼電器，檢查斷水報警是否正常，保證設(shè)備冷卻水供水暢通，在拆裝鍍膜機各機件時，應(yīng)注意保護各密封工作面不受機械劃傷或損傷，以保證鍍膜設(shè)備密封性能可靠。

設(shè)備各傳動轉(zhuǎn)軸真空密封處均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封內(nèi)間均充以飽和油蒸汽壓很低的真空油脂和擴散泵油。使用一段時間即會損耗，必須以相同的真空油脂和擴散泵油充入，決不能用其他油品代替。

真空鍍膜機真空室形變帶來的影響

為盡量減小真空鍍膜機真空室形變帶來的影響，我們將導(dǎo)軌、絲桿等傳動件固定于一個剛性的中間層上，其與真空室底壁之間采用點、線、面活性支撐，以吸收和隔離形變，并設(shè)置形變補償調(diào)節(jié)機構(gòu)，在系統(tǒng)抽真空之前，參照有限元計算提供的理論數(shù)據(jù)預(yù)設(shè)適當?shù)难a償量，以使其在真空狀態(tài)下達到平衡。

為了驗證有限元計算的結(jié)果，對真空室的形變和補償進行了測試。首先，將四只千分表定位在工作臺安裝基點的真空壁外側(cè)，當真空室由大氣抽到真空時，記錄各千分表的變化量，經(jīng)處理后為用激光自準直儀調(diào)整設(shè)備形變補償。

由水平調(diào)整的自準直儀發(fā)出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定于工作臺上的反射鏡，在大氣環(huán)境下調(diào)整設(shè)備形變補償調(diào)節(jié)機構(gòu)，使反射光束進入自準直儀接收視場，記錄兩維角度偏差。

按有限元計算的真空狀態(tài)下的補償量再次調(diào)整，顯然，此時的反射光束已遠離自準直儀接收視場，但一旦真空室進入真空狀態(tài)，反射光束又重新進入自準直儀的接收視場，記錄此時的兩維角度偏差。前后兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。

工作臺運動副的潤滑及對真空環(huán)境的影響工作臺的掃描是處于真空室環(huán)境下的頻繁運動，除用滾動代替滑動來降低摩擦系數(shù)外，在導(dǎo)軌、絲桿等運動副之間采取良好的潤滑是保證刻蝕裝置長時間正常運行的必要條件。

真空中的潤滑的方式通常有鍍固體潤滑膜和直接使用潤滑劑等鍍膜容易破壞導(dǎo)軌的運動精度，且工藝復(fù)雜。

為此，我們測試了一種市場商品――二硫化鉬潤滑劑的潤滑效果，將該潤滑劑直接噴涂在運動副表面，并用四極質(zhì)譜儀分析了該潤滑劑在真空中揮發(fā)出的氣體的主要成分。