活塞真空泵維修在信息薄膜加工中的應用

真空技術(shù)在信息薄膜加工中的應用

近半個世紀的歷史表明,電子學器件的發(fā)展對人類社會起了很大的推動作用,每一種新的電子器件出現(xiàn)都對科學技術(shù)和生產(chǎn)的發(fā)展起了積極的促進作用。電子管的誕生是真空科學技術(shù)充分發(fā)展的結(jié)果。微電子器件的發(fā)展是基于材料的超純和微細加工高精技術(shù)的提高,其中很多加工過程都與真空技術(shù)有關。

微電子器件是現(xiàn)代高速計算機和個人計算機的基礎,當今在某些發(fā)達國家,微電子和計算機工業(yè)已經(jīng)超過了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國民經(jīng)濟產(chǎn)值的前位。在電子工業(yè)和計算機工業(yè)的發(fā)展中,真空科學與技術(shù)做出了重要貢獻。

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活塞真空泵維修薄膜加工中的應用

微電子器件是現(xiàn)代高速計算機和個人計算機的基礎,當今在某些發(fā)達國家,微電子和計算機工業(yè)已經(jīng)超過了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國民經(jīng)濟產(chǎn)值的前沿。在電子工業(yè)和計算機工業(yè)的發(fā)展中,活塞真空泵維修科學與技術(shù)做出了重要貢獻。

微電子器件的發(fā)展,將推動人類社會更快地進步。微電子器件的發(fā)展趨勢是大規(guī)模集成電路,集成度越來越高,也就是芯片上的功能元件尺寸越來越小。其規(guī)律是莫爾（Moore）定律所描述的,每18個月同樣大小芯片上的元件數(shù)增加一倍。過去20年是這樣,電子學家預言,未來的15年仍是這樣。

活塞真空泵維修原理和機械泵的參數(shù)

機械泵的分類：機械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應用于大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用廣泛，本文主要介紹)四種類型。

機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

抽氣速率，是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運轉(zhuǎn)時，單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積，可以用下公式計算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結(jié)束時空腔截面積，L表示空腔長度，系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程，Vs表示當轉(zhuǎn)子處于水平位置的時候，吸氣結(jié)束，此時空腔內(nèi)的體積，轉(zhuǎn)速為n。

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