石墨舟就是石墨模具，可以把我們需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高溫燒結成型。石墨模具

是選用人造石墨經機械加工而成的。所以石墨模具有時成為石墨舟，也有稱為石墨船的。

以156-21片石墨舟為例，檢驗標準有以下12個要點：

1.舟片厚度要求2.5±0.02mm,表面不應有劃痕、擦傷等損傷零件表面的缺點。

2.石墨配件裝配面平行度控制在0.2mm，厚度24.5±0.02mm

3.陶瓷管高度11±0.01mm，配面平行度控制在0.01mm

4.陶瓷螺桿、石墨螺桿的直線度保證在0.1mm。螺紋部分需用螺紋規(guī)檢測。

石墨舟推舟系統：石墨舟推舟系統采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應管內部后，石墨舟推舟機構將退出，自動門關上。載片舟是經特殊設計，在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調，再經精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關，所以推舟系統是本設備的核心部件。 管式PECVD系統：即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積。

為保證窯爐溫度穩(wěn)定及滿足快速升溫的需求，配套的電氣控制系統應該留有足夠的電壓調整余量——即：新棒時，在較低的電壓下就能滿足窯爐設計及使用功率；隨著使用時間的延續(xù)，棒的阻值變大，此時需要相應地提高使用電壓，來滿足窯爐設計及使用功率。

電壓余量數值：石墨棒使用后期的電壓一般是新棒使用電壓的1.5--1.7倍。根據調壓方式及接線方式的不同，后期電壓的上限一般以220V或380V為計算值。

供應石墨棒，磨壓石墨棒，等靜壓石墨棒，高純石墨/碳石墨密封/碳石墨軸承/電火花石墨，我公司生產的石墨棒主要用于煉鋼電極、鑄造爐用電極、玻璃熔化爐電極等行業(yè)，可根據客戶的要求加工不同規(guī)格的石墨棒，直徑在2mm以上，長度在900一下都可以加工。

外形尺寸精準：采用模壓成型，制品成型質量好，外形尺寸精準，并能按用戶要求生產特異制品，能充分滿足施工砌筑工藝要求。