凈化實(shí)驗(yàn)室
潔凈實(shí)驗(yàn)室位置和環(huán)境的選擇
潔凈實(shí)驗(yàn)室在位置選擇方面要遵從潔凈等級的設(shè)計(jì)要求,應(yīng)選擇大氣含塵濃度較低,自然環(huán)境較好的區(qū)域和地段,要遠(yuǎn)離落葉和空氣異味的場所,(如河邊、食堂周圍、動(dòng)力區(qū)域等),還要盡量避開振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。
選擇實(shí)驗(yàn)室周圍的位置、地形、環(huán)境時(shí),要與精密設(shè)備、精密儀器、儀表等允許環(huán)境振動(dòng)值進(jìn)行分析權(quán)衡。
實(shí)驗(yàn)室凈化工程的原理和作用:控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。 實(shí)驗(yàn)室凈化工程分類: 一、凈化工程亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈工程室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。通風(fēng)柜的主要結(jié)構(gòu)為:①柜體:通風(fēng)柜的柜體可根據(jù)使用要求做成鋼制、木制、塑料、不銹鋼等材料。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級?! ?yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺(tái),提高潔凈室等級?! ∪秉c(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間?! 《?、凈化層流式 層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種: (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回,塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。 優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定?! ∪秉c(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充?! ?2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。 優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響?! ∪秉c(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。
空氣過濾器的工作原理
清除壓縮空氣中的水分及雜質(zhì)進(jìn)入過濾器的空氣經(jīng)過旋轉(zhuǎn)式流動(dòng)使水份雜質(zhì)沉集在過濾器的下方,當(dāng)?shù)剿豁毎雅潘鞯姆潘蜷_,使水排出.從氣源出來的壓縮空氣中含有過量的水份和油滴,同時(shí)還有固體雜質(zhì),如鐵銹、沙粒、管道密封劑等,這些會(huì)損壞活塞密封環(huán),堵塞元器件上的小排氣孔,縮短元器件的使用壽命或使之失效。實(shí)驗(yàn)室凈化需要有良好的監(jiān)控管理,從現(xiàn)有條件下,實(shí)驗(yàn)室凈化設(shè)計(jì)環(huán)境都會(huì)影響凈化工程正常運(yùn)行,所以要針對當(dāng)?shù)貭顩r收集信息對設(shè)計(jì)進(jìn)行調(diào)整,將質(zhì)量影響控制在較低。