無(wú)油真空泵近年來解決了不少科學(xué)研究和新材料、半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ)、共性問題，國(guó)內(nèi)很多企業(yè)也啟動(dòng)了基礎(chǔ)、應(yīng)用研究及小規(guī)模的試制無(wú)油真空泵的探索，在不同研發(fā)階段上顯示了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的規(guī)劃，如在基礎(chǔ)技術(shù)、激勵(lì)機(jī)制、技術(shù)推廣、市場(chǎng)開拓規(guī)劃的調(diào)整等，這些舉措都為鋪展市場(chǎng)做好了基礎(chǔ)。（8）臨界汽蝕余量NPSHc：泵性能下降一定值的試驗(yàn)汽蝕余量。

無(wú)油渦旋真空泵不僅解決了污染、振動(dòng)等基礎(chǔ)性、共性問題，還使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。在生物制品與半導(dǎo)體行業(yè)中，如果應(yīng)用普通旋片油泵，會(huì)產(chǎn)生有油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題，而無(wú)油渦旋真空泵就避免了這些問題的出現(xiàn)。應(yīng)通冷卻水或用電風(fēng)扇降溫，同時(shí)，反省無(wú)關(guān)部件共同間隙并按劃定精度請(qǐng)求停止補(bǔ)綴或調(diào)換。為防止普通旋片油真空泵對(duì)真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子，還要在系統(tǒng)運(yùn)行中，定期清洗除油，增加了成本運(yùn)行。因此，無(wú)油渦旋真空泵確實(shí)具有未來深廣的發(fā)展前景，是著重商業(yè)化的對(duì)象。

國(guó)內(nèi)以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝和科學(xué)研究與分析測(cè)試行業(yè)迫切需要無(wú)油污染的真空環(huán)境，無(wú)油真空泵的研發(fā)不僅推動(dòng)了應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的整體素質(zhì)，還為我國(guó)其他清潔真空獲得設(shè)備提供了有效地借鑒，帶動(dòng)了整個(gè)真空獲得行業(yè)的能力和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

真空泵故障檢測(cè)方法

真空泵漏油、噴油

　　(1)轉(zhuǎn)軸、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈毀壞或裝置不正確。應(yīng)細(xì)心反省并調(diào)換玻損的密封圈，裝置螺時(shí)，使勁要平均，

　　(2)因先后端面不平坦或端板未壓緊，形成端面漏油。應(yīng)將端面修平并壓緊先后端板；

　　(3)進(jìn)氣口壓強(qiáng)太高。應(yīng)想法削減進(jìn)宇量，

　　(4)箱體有漏孔。應(yīng)反省謂孔部位并堵死，

　　(5)油量過量發(fā)生噴油，應(yīng)放出過剩的油，

　　(5)排氣蓋下面的擋油網(wǎng)裝反惹起噴油，應(yīng)從新裝擋油網(wǎng)；

　　(7)忽然大氣惹起噴油。應(yīng)立即封閉低真空閥。

隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。