探針式輪廓儀

探針式輪廓儀測量范圍大，測量精度高，但它是一種點掃描測量，測量費時。機械探針式測量方法是開發(fā)較早、研究充分的一種表面輪廓測量方法。它利用機械探針接觸被測表面，當探針沿被測表面移動時，被測表面的微觀凹凸不平使探針上下移動，其移動量由與探針組合在一起的位移傳感器測量，所測數(shù)據(jù)經(jīng)適當?shù)奶幚砭偷玫搅吮粶y表面的輪廓。3、清零：使用操作盤上的方向操作桿，輕輕向下?lián)?，探針緩慢下降，直至探針與工件表面相接觸。機械探針是接觸式測量，易損傷被測表面。

輪廓儀特點

真正的大量程設計，Z軸傳感器的實際量程為12mm，杠桿比僅為1：2.2!1大限度保持了傳感器的原有精度，在滿量程下Z軸傳感器的精度是國內(nèi)同行的8倍！

右杠桿（裝測針端）的長度達280mm！足夠長的杠桿在實現(xiàn)同等高度的測量時，擺角小，從而在測量過程中避免零件表面的某部件與測桿的干涉。

Z軸傳感器整體結構無任何彈性元件，從而保證無論測針處于任何位置測力均是衡定的。國內(nèi)同行采用了如彈簧等彈性元件，測針位置不同，測力不同，測量時，由于測量力的變化導致杠桿的變形不一致，引起較大的、不可修正的隨時測量誤差。

2D和3D的相關性：測量結果遵循ISO 25178和ISO 4287標準。Mx?軟件：實現(xiàn)儀器控制、分析和測量自動化先進的分析&控制軟件

NewView 9000輪廓儀使用ZYGO Mx?軟件，支持完整系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析，包括豐富的交互式3D繪圖，量化的形貌信息，直觀的測量導航以及內(nèi)置的SPC統(tǒng)計，質量控制圖，通過/失敗限制設置。