多線切割機(jī)

近年來(lái)，由于國(guó)家的重視，將極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)課題列入國(guó)家重大科技專項(xiàng)，另外，國(guó)內(nèi)有關(guān)設(shè)備制造企業(yè)也看到了這個(gè)巨大的商機(jī)，大力投入人力物力開(kāi)展艱苦的研制開(kāi)發(fā)，先以模仿為主，逐漸轉(zhuǎn)向自主創(chuàng)新，研制出有自身知識(shí)產(chǎn)權(quán)的多線切割機(jī)。但樹(shù)脂金剛石線的工藝復(fù)雜，目前主要依靠進(jìn)口，其成本較高，因此還得不到廣泛的應(yīng)用。

鄭州元素工具以技術(shù)為導(dǎo)向，擁有多項(xiàng)專利技術(shù)，積極與各科研院所，企事業(yè)單位及高校以各種方式合作，代表行業(yè)先進(jìn)科研水平。歡迎各行業(yè)前來(lái)咨詢合作。

國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工，包括：去頭尾、截?cái)唷㈤_(kāi)方等的加工，大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙，浪費(fèi)材料，金剛石帶鋸價(jià)格也不菲。

實(shí)際上，應(yīng)該使用金剛石線鋸機(jī)切割加工，能得到更高的質(zhì)量。

元素環(huán)形金剛石線切割機(jī)的主要性能：

1. 切割晶體尺寸：  300*300 mm

2. 切割線線速度： 小于60 m/s

3. 工作臺(tái)進(jìn)給速度：  500 mm/s

4. 晶片表面粗糙度：    Ra≤ 0.2μm

金鋼線切割專用設(shè)備

目前，行業(yè)內(nèi)硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行金鋼線切割技術(shù)升級(jí)改造的方案主要有兩種：

1，,即在現(xiàn)有的傳統(tǒng)砂漿線設(shè)備基礎(chǔ)上，通過(guò)對(duì)設(shè)備內(nèi)部軟硬件進(jìn)行升級(jí)改造，從而滿足金鋼線切割工藝。

2.改造方案是直接采購(gòu)金鋼線切割專用設(shè)備。

基于金剛線本身性能與普通鋼線的差異，金剛線切割對(duì)切片機(jī)的設(shè)備提出了更高的要求。因此現(xiàn)有的主流砂漿線切割設(shè)備在不進(jìn)行改造的前提下，不能使用金剛線切割。