在一個操作間，機器以及機器周圍走動的人員，會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流，從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中，由于風速較低，空氣稀釋程度較小，從而使得污染濃度較高。因此，必須將風速保持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的范圍里，以便使中斷的單向流能快速恢復，充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風速可以正確地表示出單向流，因為風速越高室內就越潔凈。而每小時換氣次數與房間的體積有關，如吊頂的高低，因此不適合用來表示單向流。

    光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之發(fā)展，對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術在行業(yè)中則處于地位。

無塵車間凈化工程該如何選擇與維護保養(yǎng)呢？

    1.應選擇塵土性偏少的凈化工程及有關設備，特別是在要留意主題活動一部分的塵土。

    2.應選擇浮塵之危害較小的凈化工程或插口設備。

    3.制造用的水、汽體、等通常是導致環(huán)境污染的緣故，故應配置過濾系統(tǒng)。

    4.設計各設備的配備室內空間時，事前宜考慮到不容易累積微塵的構造，設計各并且以非常容易清理為標準。

    5.機械泵等非常容易造成空氣污染物的這種設備，應設定在潔凈室外邊或送風區(qū)，并改裝排汽管線排氣管。

    6.設定排水管道線、汽體管道和電路系統(tǒng)時，其結構須充分考慮非常容易清理，不容易累積空氣污染物。

    7.制造及有關設備應按時清理，以防止微塵的沉積。