高純/特種氣體的概念

半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類(lèi)：

1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。

2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。

半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時(shí)的危險(xiǎn)性分類(lèi)：

1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等

2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等

3.助燃?xì)怏w：O2 、N2O、F2 、HF等

4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等

5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等

針對(duì)不同的場(chǎng)所怎么設(shè)定氧氣報(bào)警儀的報(bào)警值？首先看一下有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

1 、《石油化工可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測(cè)報(bào)警設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》

（GB/T50493-2019）5.5.2環(huán)境氧氣的過(guò)氧報(bào)警設(shè)定值宜為23.5%VOL，環(huán)境欠氧報(bào)警設(shè)定值宜為19.5%VOL（條文說(shuō)明：氧氣的過(guò)氧報(bào)警值和欠氧報(bào)警值的設(shè)定可只設(shè)一級(jí)報(bào)警，二級(jí)報(bào)警值由企業(yè)自定）；6.1.3 環(huán)境氧氣探測(cè)器的安裝高度宜距地坪或樓地板1.5m～2.0m。條文說(shuō)明4.1.6環(huán)境氧氣報(bào)警濃度具體的數(shù)值確定，應(yīng)視項(xiàng)目所處環(huán)境而調(diào)整，如高原地區(qū)，海拔高度1610m 時(shí)，大氣中的正常氧含量約為17.3%（v/v），其欠氧、過(guò)氧大氣環(huán)境的氧含量應(yīng)做合理調(diào)整。

2、 《化學(xué)品生產(chǎn)單位特殊作業(yè)安全規(guī)范》（GB 30871-2014）

作業(yè)前，應(yīng)根據(jù)受限空間盛裝（過(guò)）的物料特性，對(duì)受限空間進(jìn)行清洗或置換，并達(dá)到如下要求：a）氧含量為18%～21%，在富氧環(huán)境下不應(yīng)大于23.5%；b）有毒氣體（物質(zhì)）濃度應(yīng)符合GBZ2.1的規(guī)定；c）可燃?xì)怏w濃度要求同5.4.2規(guī)定。

1988年以前，我國(guó)的用氧都是由制氧廠采用深冷法分離空氣按照《工業(yè)用氣態(tài)氧》標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)的工業(yè)用氧氣。隨著我國(guó)衛(wèi)生事業(yè)的日益發(fā)展和人民健康水平的不斷提高，對(duì)氧氣的質(zhì)量要求在不斷提高，繼續(xù)把含有游離水、鹵素等對(duì)人體有害雜質(zhì)的工業(yè)用氧氣用于和保健，顯然已不符合人體健康要求。為此，1988年4月12日，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)總局頒布了GB 8982-1988《氧氣》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，并于同年12月1日開(kāi)始實(shí)施。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧氣氧含量≥99.5%，同時(shí)對(duì)水份、二氧化碳、1氧化碳、氣態(tài)酸和堿、臭氧和其他氣態(tài)化合物含量及氣味作了規(guī)定。

氧氣和工業(yè)氧氣的區(qū)別在于對(duì)氧氣中水分的控制。我們生活中常常有這樣的經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)表面光潔，沒(méi)有生銹的鐵放在露天很長(zhǎng)時(shí)間也不會(huì)生銹，可是一場(chǎng)大雨過(guò)后就會(huì)銹跡斑斑。這是因?yàn)檠鯕庠谟兴嬖谙碌臅r(shí)候才會(huì)使大量的鐵分子氧化。并且鐵氧化后不僅會(huì)有鐵銹還有氫氣等其他對(duì)人體有害的氣體被排出。鐵被氧化后形成鐵銹，鐵銹很疏松，很容易形成小顆?；烊胙鯕庵?。被吸入，從而引起等呼吸道的損傷。所以氧氣生產(chǎn)上大程度的降低氧氣中的水分含量是極其重要的。

標(biāo)準(zhǔn)氣體的相關(guān)知識(shí)

關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)氣體的用途，大家應(yīng)該都非常的了解了，它可以用在我們生活中的很多領(lǐng)域，并且發(fā)揮非常重要的作用，下面我們就來(lái)了解一下它的相關(guān)知識(shí)吧。

標(biāo)準(zhǔn)氣體是已知準(zhǔn)確濃度的某種或某幾種待測(cè)物質(zhì)的空氣或惰性氣體化合物。在空氣理化檢驗(yàn)工作中，標(biāo)準(zhǔn)氣體廣泛用于空氣污染物的定性分析、定量分析和質(zhì)量控制工作。評(píng)價(jià)分析方法的準(zhǔn)確性、評(píng)價(jià)采樣方法的效率、校正分析儀器時(shí)都需要標(biāo)準(zhǔn)氣體。

靜態(tài)配氣法的特點(diǎn)是除高壓鋼瓶配氣法外，靜態(tài)配氣法具有設(shè)備簡(jiǎn)單進(jìn)，操作方便，標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和稀釋氣體的用量小等優(yōu)點(diǎn)。