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發(fā)布時(shí)間:2020-12-21 09:22  
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氦質(zhì)譜檢漏儀
設(shè)備是產(chǎn)生、改善并維持真空的裝置,包括真空應(yīng)用設(shè)備及真空獲得設(shè)備。真空系統(tǒng)設(shè)備的真空系統(tǒng)是核心,主要由真空獲得、真空測(cè)量、真空腔體(或容器)以及控制輔助等部件(如真空閥門(mén)、管道等)。其在使用過(guò)程中如果真空度達(dá)不到或者達(dá)到真空度速度慢都會(huì)影響企業(yè)的生產(chǎn)效
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氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏率
機(jī)器的性能支持幾秒一次的高頻率測(cè)試
配有檢漏口精細(xì)過(guò)濾器,過(guò)濾細(xì)微雜質(zhì),確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷
雙銥絲離子源,有效的系統(tǒng)設(shè)計(jì),防大氣沖擊
支持定制檢漏工作臺(tái),更加便捷使用
可檢漏率(負(fù)壓模式) 5×10-13Pa?m3/s
可檢漏率(正壓模式) 1×10-8Pa?m3/s
氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理
將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空,在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器,如被檢件有漏孔,氦氣便由漏孔進(jìn)入被檢件,終達(dá)到質(zhì)譜管被檢測(cè)。所測(cè)漏率是被檢件的總漏率,不能確定有幾個(gè)泄漏點(diǎn)和每個(gè)漏點(diǎn)的準(zhǔn)確位置??梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。