手套箱故障分析

一、循環(huán)啟動(dòng)不了

1. 工作氣壓力是否在0.4-0.6MPa之間；

2. 高真空擋板閥電磁開關(guān)反饋是否正常；

3. 壓力傳感器是否顯示正常；

4. 風(fēng)機(jī)空開是否跳閘；

5. 風(fēng)機(jī)變頻器是否正常；

6. 點(diǎn)循環(huán)后，繼電器是否同時(shí)亮兩個(gè)。

二、再生按鈕不起作用

1. 需輸入密碼；

2. 真空泵未打開；

3. 此凈化柱正在循環(huán)（再生和循環(huán)不能同時(shí)在一個(gè)凈化柱上）。

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手套箱的日常維護(hù)保養(yǎng)

1.要從手套箱內(nèi)取出放在過渡艙內(nèi)的樣品前，須先將過渡艙上的開關(guān)轉(zhuǎn)至“真空”位置，將艙內(nèi)的空氣抽出，再轉(zhuǎn)制“填充”，使干燥潔凈的氣體由手套箱內(nèi)進(jìn)入過渡艙內(nèi)，重復(fù)一、二次之后，即可從手套箱內(nèi)將過渡艙門打開，取出樣品。

2.使用設(shè)備時(shí)，禁止佩戴手表、戒指等有可能刺破手套的東西，若使用尖銳物品時(shí)，也要格外注意以免刺破手套，指甲過長(zhǎng)也有幾率刺破手套。

真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料；在金屬真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。3、大小倉無法抽氣原因：①大小倉內(nèi)抽氣孔被塑料薄膜等堵塞或艙門漏氣。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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