淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機組。

應(yīng)避免在水環(huán)真空泵的大真空度或大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內(nèi)運行，不僅效率低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動和噪音。

　　水環(huán)真空泵盡可能要求在區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導體真空泵在抽取這些介質(zhì)時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍?！　?/span>

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合適的粘度和良好的粘溫特性：水環(huán)式真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。

　低蒸氣壓：這是真空潤滑喲的重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。

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