元素氟和硫直接反應(yīng)法。

直接電解法　將硫、二氯化liu、一氯化硫、二liu化碳或硫化氫等加入到無水氟化氫中，以鎳為陽極進行電解即可制得六氟化硫。用硫化氫與無水氫氟酸電解時，以鎳作極，鐵作陰極，溫度為－10～20℃，電壓為7～20V。電解產(chǎn)物應(yīng)除去雜質(zhì);催化氧化法　金屬氧化物為催化劑，于300℃下，用空氣氧化四氟hua硫，該法缺點是收率過低。包裝方法：鋼質(zhì)氣瓶運輸注意事項：鐵路運輸時需經(jīng)生物試驗證明合格，根據(jù)合格證托運。

熱解法，在500～2000℃使SF4熱解，但該法的轉(zhuǎn)換率及收率皆低，采用微波放電分解SF4亦可。氟hua鈷法　將硫磺或其他硫化物在三fu化鈷和二氯hua鈷存在下與過量氟作用以制備六氟化硫。二氧化硫與氟燃燒法。聯(lián)產(chǎn)法　氯氟代甲烷和六氟化硫聯(lián)產(chǎn)，氟化碳（COF2）與六氟化硫聯(lián)產(chǎn)。SF6氣體絕緣的全封閉開關(guān)設(shè)備比常規(guī)的敞開式高壓配電裝置占地面積小得多，且其運行不受外界氣象和環(huán)境條件的影響，因此不僅廣泛用于超高壓和特高壓電力系統(tǒng)，而且已開始用于配電網(wǎng)絡(luò)(SF6氣體絕緣的開關(guān)柜和環(huán)網(wǎng)供電單元)。

1、主要用于高壓開關(guān)中滅弧，在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用?？稍诤肆Ｗ觠ia速器及避雷器X射線設(shè)備中作為氣體的絕緣材料，利用SF6化學(xué)穩(wěn)定性好，對設(shè)備不腐蝕，在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑（操作溫度在－45～0℃之間），SF6對α-粒子有高度的停止能力，故在放i射化學(xué)中也有應(yīng)用；由于有些有毒物質(zhì)是氣態(tài)存在的，呼吸時有可能進入體內(nèi)，所以六氟化硫防護需要使用過濾器。也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。

2、用作電子設(shè)備和雷達波導(dǎo)的氣體絕緣體。

泄漏應(yīng)急處理

SF6氣體已有百年歷史，它是法國兩位化學(xué)家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃（核軍事）。

應(yīng)急處理：迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進行隔離，嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。

氣體監(jiān)測

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現(xiàn)使人窒息的危險，設(shè)計戶內(nèi)通風(fēng)裝置時要考慮到這一情況。

在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應(yīng)用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測設(shè)備。

1）電化學(xué)技術(shù)（TGS830、TGS832）費加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號的改變，以此來發(fā)現(xiàn)被檢測氣體。電化學(xué)技術(shù)其成本低、壽命長、結(jié)構(gòu)簡單，可以連續(xù)工作的特點。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計。