特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。目前，國(guó)內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小?？鐕?guó)企業(yè)已經(jīng)在國(guó)內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司，占國(guó)內(nèi)銷(xiāo)售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。特種氣體應(yīng)用于國(guó)民經(jīng)濟(jì)的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大的作用。我國(guó)特種氣體經(jīng)過(guò)30余年的發(fā)展, 無(wú)論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場(chǎng)的需求。

 電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體，人們把這類(lèi)在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期，天然1氣公司已經(jīng)開(kāi)發(fā)出各種技術(shù)，以1小化任何局部活性位點(diǎn)在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力，然后再填充特種氣體。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類(lèi)繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類(lèi).一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷(xiāo)量大,但對(duì)純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷(xiāo)量雖小,但根據(jù)不同的用途。

特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過(guò)程中使用到一些化學(xué)氣體，也就是氣體類(lèi)別中的電子氣體，特種氣體種類(lèi)：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用：特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導(dǎo)體的“源”，主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。