公司于2008年通過(guò)了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證和歐盟CE標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。目前在國(guó)內(nèi)先后成立了濟(jì)南、成都、沈陽(yáng)、上海四家分公司，2000年成立濟(jì)南鑫能信洗凈設(shè)備有限公司，于2007年公司和山東大學(xué)合作注冊(cè)濟(jì)南巴克超聲波科技有限公司，專業(yè)從事超聲波清洗設(shè)備、中高壓噴洗設(shè)備的的研發(fā)、制造與銷售。

旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)簡(jiǎn)介

旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)

1.設(shè)備占地面積小，方便維護(hù)保養(yǎng)。

2.除人工上下料外，零件清洗過(guò)程全自動(dòng)運(yùn)行;

3.清洗工藝集成度高，在一個(gè)工位完成多個(gè)工序；

此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時(shí)間比較短，對(duì)反應(yīng)需要一定時(shí)間的清洗效果不好。在噴洗過(guò)程中所使用的化學(xué)試劑很少，對(duì)控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來(lái)越先進(jìn)，對(duì)實(shí)際制造的幾個(gè)環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。

清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導(dǎo)體對(duì)雜質(zhì)含量越來(lái)越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會(huì)引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對(duì)芯片良率的影響，實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。

公司于2008年通過(guò)了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證和歐盟CE標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，先后與國(guó)外80多個(gè)國(guó)家合作，并與中國(guó)航發(fā)、大眾、華為、小松機(jī)械、伊頓、沃德、長(zhǎng)城、重汽、美利信、費(fèi)斯托、中車、中航工業(yè)等企業(yè)達(dá)成長(zhǎng)期戰(zhàn)略合作關(guān)系。

工作原理:手動(dòng)放入——泵浦增壓——集中10um過(guò)濾——噴淋在線清洗——回收——泵浦增壓——在線0.45um三級(jí)過(guò)濾——噴淋在線漂洗——風(fēng)切干燥——加熱烘干——手動(dòng)取出。