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發(fā)布時間:2021-07-29 10:26  
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常見的PVD鍍膜主要有幾大色系:灰色系列,一般成份是鈦的化合物或鉻的化合物,顏色深淺可以調(diào)整,色調(diào)根據(jù)客戶的要求也可以調(diào)整。黑色系列,一般是成份是金屬的碳化物,顏色深淺可以調(diào)整,色調(diào)根據(jù)客戶的要求也可以調(diào)整,不同的金屬碳化物具有不同的特性和色調(diào),可以根據(jù)客戶的需要選擇不同的膜系。藍(lán)色系列,有天空藍(lán),冰藍(lán)色,海洋藍(lán),深藍(lán)等等,不同色系成份也有所不一樣。
真空鍍膜--磁控濺射鍍膜技能
一、磁控濺射鍍膜-濺射原理:
1.使chamber到達(dá)真空條件,一般控制在(2~5)E-5torr
2.chamber內(nèi)通入Ar,并啟動DC power
3.Ar發(fā)作電離:Ar ? Ar + e-
4.在電場效果下,(電子)會加快飛向anode(陽極)
5.在電場效果下,Ar 會加快飛向陰極的target(靶材),target粒子及二次電子被擊出,前者到達(dá)substrate(基片)表面進行薄膜生長,后者被加快至陰極途中促成更多的電離。
6.筆直方向分布的磁力線將電子約束在靶材表面附近,延長其在等離子體中的運動軌道,進步它參與氣體分子磕碰和電離過程的幾率的效果。