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發(fā)布時(shí)間:2020-12-25 14:11  
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手套箱
手套箱簡(jiǎn)介
手套箱是將高純惰性氣體充入箱體內(nèi),并循環(huán)過(guò)濾掉其中的活性物質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。也稱(chēng)真空手套箱、惰性氣體保護(hù)箱等。主要功能在于對(duì)O2,H2O,有機(jī)氣體的清除。
廣泛應(yīng)用于無(wú)水、無(wú)氧、無(wú)塵的超純環(huán)境,如:鋰離子電池及材料、半導(dǎo)體、超級(jí)電容、特種燈、激光焊接、釬焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面應(yīng)用,如細(xì)胞低氧培養(yǎng)等。
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結(jié)構(gòu)原理
手套箱結(jié)構(gòu)原理
主要由主箱體、過(guò)渡室兩部分組成。如用戶(hù)有其它特殊要求,也可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)計(jì)制造。
主箱體上有兩個(gè)(或兩個(gè)以上)手套操作接口,分布在箱體的前邊(或前后兩邊),這使得本操作箱能被一個(gè)(或幾個(gè))人同時(shí)操作,提高了箱體的使用效率。另外,在箱體的前面(或前后)都有觀察窗,操作者能夠清楚地觀察到箱體內(nèi)的操作過(guò)程,使得操作過(guò)程直觀地展現(xiàn)在操作者的眼前。過(guò)渡室的閥門(mén)上有抽氣與充氣接嘴,在需要抽氣或充氣時(shí)可由此接入。手套箱操作步驟將物件放入與取出主箱體的方法:1、將物件放入主箱體的方法:當(dāng)您完成“抽真空與充氣”的操作后,如需要放物件放入主箱體,請(qǐng)先將過(guò)渡室的內(nèi)門(mén)關(guān)上,打開(kāi)過(guò)渡室的外門(mén),將物件放入,然后關(guān)上外門(mén),利用過(guò)渡室上的二個(gè)閥門(mén)進(jìn)行抽氣和充氣。主箱體上也安裝有閥門(mén)和接嘴,用戶(hù)在需要維持氣壓平衡而對(duì)主箱體放氣或充氣時(shí)可以使用(手套口之間的三通閥必要時(shí)也可以用來(lái)放氣)。主箱體的前觀察窗上方安裝了照明日光燈。

真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極,薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟,加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料;在金屬真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置金屬電極的蒸發(fā)舟,金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作,電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。檢查手套是否破損,特別是手指頭上,工作時(shí)請(qǐng)戴布手套以免在手套內(nèi)產(chǎn)生水氣。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上,其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案,并利用石英晶體振蕩器來(lái)控 制膜厚。
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