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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。標準球的直徑在10MM至50MM之間，其直徑和形狀誤差經(jīng)過校準認證（一般三坐標廠家配置的標準球均有校準證書和精度報告）。

當有其他不同角度、位置或不同長度的測針按照以上方法校驗后，有各擬合球中心點坐標差別，就得出各個測頭之間的位置關系，三坐標測量軟件自動生成測頭關系。當我們使用不同角度，位置和長度的測針測量同一零件不同部位的元素時，三坐標測量軟件都把他們轉(zhuǎn)化到同一個測頭（通常是默認A：00、B：00）上，就像一個測針測量一樣，凡是在經(jīng)過在同一標準球上（未添加新的角度位置的）校準的測針，都能準確實現(xiàn)這種自動轉(zhuǎn)換。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。

講解球桿儀測試

系統(tǒng)以單個點為中心執(zhí)行所有三項測試，允許使用空間診斷報告（Ballbar 20新增功能），為您提供更多信息，比使用舊系統(tǒng)速度更快。數(shù)據(jù)分析用戶可以選擇多種符合國際標準（如ISO、ASME）的報告格式和診斷報告（包括空間分析）格式，報告提供若干不同的屏幕視圖和幫助手冊鏈接。很多報告可以自定義，并可通過內(nèi)置的“剪切和粘貼”功能利用終結(jié)果編寫報告。球桿儀使用方法球桿儀qc20-w系統(tǒng)是基于renishaw多年球桿儀測試的經(jīng)驗而推出的，與已有的球桿儀qc10系統(tǒng)相比，性能更優(yōu)異，操作優(yōu)點更顯著。

球桿儀既可檢測機床的幾何誤差，也可通過從冷態(tài)到熱態(tài)多次檢測進行熱誤差的檢測。本文主要討論機床熱誤差的微位移球桿儀檢測法。

球桿儀作為一種高精密的測量儀器。影響其檢測精度的系統(tǒng)因素如下： 1.金屬球的球度和球座的圓度。球桿儀兩端的金屬球一般是由軸承鋼制成的，直徑一般為25.4mm。這兩個金屬球的精度非常高，球度誤差小于0.05μm。球座的圓度誤差要求小于0.1μm。 2.線性位移傳感器的測量精度。通常來說，大多數(shù)軸類零件，特別是短軸類零件兩面都有形位公差要求，所以需要垂直于工作臺面擺放。