選真空泵注意事項

1. 使用環(huán)境是無塵車間，盡量選擇無油泵，或者真空泵放置在室外。

2 真空泵排除的油蒸汽對環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。

3. 真空泵極限真空度應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。

4. 要知道客戶腔體容積，使用的真空度，要求抽真空泵的時間，有這些參數(shù)我們可以計算使用多大抽數(shù)的真空泵，再結(jié)合上面的選型要求，選擇合適的真空泵。

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩(wěn)定的運行，延長真空泵維修維保時間，節(jié)約運行成本，保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，保證設(shè)備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應(yīng)過程中有時會大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時下機保養(yǎng)和維護，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。

無油節(jié)能真空泵

廣泛應(yīng)用于過濾、樣品濃縮、固相萃取等裝置中，是實驗室重要的基礎(chǔ)設(shè)備。單級或雙極泵是通過橡膠膜片上下往復運動，無油節(jié)能真空泵多少錢，引導氣流通過泵頭，形成真空狀態(tài)。真空泵提供了完全潔凈的真空環(huán)境，新型無油節(jié)能真空泵多少錢，泵體本身無需保養(yǎng)，水環(huán)無油節(jié)能真空泵多少錢，而且不會產(chǎn)生任何污染物。無油真空泵相對有油真空泵來說，抽取的氣體不會摻雜油氣?？色@得潔凈的真空環(huán)境