特種氣體輸送管道系統(tǒng)的施工管理

超凈的氣體輸送管道系統(tǒng),是指具有超凈化要求的輸送高純氣體、摻雜氣體的管道系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于集成電路器件生產(chǎn)、太陽(yáng)能光伏電池生產(chǎn)PDF顯示器面板生產(chǎn)等微電子領(lǐng)域,特種氣體指出，該系統(tǒng)輸送的氣體主要有高純大宗氣體(高純氧、高純氫、高純氦、高純氫等氣體)、特氣(、磷烷、烷、、等工藝氣體),以上氣體在下文中簡(jiǎn)稱“超凈氣體”。

隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級(jí)進(jìn)人到亞微米(小于1um)級(jí)以及深亞微米(小于0.18um)級(jí),這樣,對(duì)半導(dǎo)體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來(lái)越高,對(duì)這些氣體中微粒、雜質(zhì)及控制要求極為嚴(yán)格,已達(dá)到ppb、ppt級(jí),塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對(duì)超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出，工藝氣體中的雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體制造的整個(gè)過(guò)程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴(kuò)散,誘發(fā)結(jié)晶缺陷,是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導(dǎo)致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。

熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常，引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出，由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染,將很難通過(guò)吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統(tǒng)造價(jià)昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對(duì)其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。

2018年中國(guó)特種氣體行業(yè)市場(chǎng)下游需求總體保持穩(wěn)定

我國(guó)特種氣體市場(chǎng)需求格局

1 煉油行業(yè)產(chǎn)能過(guò)剩 影響對(duì)特種氣體需求

我國(guó)煉油工業(yè)立足于滿足市場(chǎng)需求，并在2008年“油荒”后煉能增速有所加快，產(chǎn)能增長(zhǎng)2億噸/年，使成品油市場(chǎng)保持供大于求的態(tài)勢(shì)。2015年，我國(guó)年石油加工及煉焦業(yè)城鎮(zhèn)固定資產(chǎn)投資規(guī)模大幅下降至2538.60億元，2016年略有回升，根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2018-2023年中國(guó)特種氣體行業(yè)產(chǎn)銷需求與投資預(yù)測(cè)分析報(bào)告》初步估算，2017年投資額再次下降為2688.34億元。

未來(lái)我國(guó)將收緊對(duì)大煉油項(xiàng)目的審批，控制產(chǎn)能擴(kuò)張，優(yōu)化區(qū)域布局，全國(guó)煉油能力控制在與市場(chǎng)需求匹配略寬松的總量，進(jìn)一步化解煉油能力結(jié)構(gòu)性過(guò)剩的問(wèn)題；著重科學(xué)引導(dǎo)地?zé)挵l(fā)展模式，順應(yīng)我國(guó)煉油業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，積極進(jìn)行產(chǎn)業(yè)升級(jí)，而不是單純的擴(kuò)張產(chǎn)能，這在一定程度上將影響煉油行業(yè)對(duì)特種氣體的需求。

工業(yè)氣體的使用和存放如何做好保障？

工業(yè)氣體種類繁多，經(jīng)常用于各種工業(yè)制造方面。而在存放和使用方面，因?yàn)槎际峭ㄟ^(guò)壓縮來(lái)處理的，所以對(duì)于它們的安全保障措施一定要做好。

首先在使用之前要做好檢查工作，對(duì)于氣瓶應(yīng)該進(jìn)行狀況檢測(cè)，包括外觀、安全附件、使用年限和檢驗(yàn)標(biāo)志等等。在存放時(shí)，還要注意檢查檢驗(yàn)日期，鋼印和有效期等，工業(yè)氣瓶的防震圈也是要查看的，至少保證無(wú)裂痕。

存放時(shí)，因?yàn)楣I(yè)氣體一般都具有、有毒等特性，所以存放場(chǎng)所應(yīng)該有一定的防護(hù)措施，夏季要防止暴曬，室外要注意這樣和遮雨，可以使用倉(cāng)庫(kù)。對(duì)于存放空間里的照明燈具等要具有防爆特性，電源開(kāi)關(guān)和熔斷器等應(yīng)該設(shè)置的室外，同時(shí)要安裝避雷設(shè)施。

工業(yè)氣體存放場(chǎng)所要通風(fēng)、干燥，避免雨淋日曬，嚴(yán)禁明火和其他熱源，不能有任何管線通過(guò)。