將細(xì)胞、蛋白質(zhì)、病原體、病毒、DNA等用納米級(jí)的磁性小顆粒來(lái)標(biāo)記，也就是磁化這些被探測(cè)的對(duì)象，再用高靈敏度的GMR磁阻傳感器來(lái)探測(cè)它們的具體位置。這種應(yīng)用方式在醫(yī)學(xué)及臨床分析、DNA分析、環(huán)境污染監(jiān)測(cè)有非常重要意義。

基于TMR效應(yīng)的自旋閥生物磁傳感器與傳統(tǒng)電化學(xué)分析、壓電晶體檢測(cè)方法相比具有精度高、體積小的優(yōu)勢(shì)，主要用于病變部位的非接觸式探測(cè)、室溫心磁圖檢測(cè)、生物分子識(shí)別分析等。

磁性傳感器還可用于準(zhǔn)備樣本的簡(jiǎn)單離心機(jī)，它用來(lái)幫助控制小型電機(jī)，使其變得更加安靜和可靠。在助聽(tīng)器領(lǐng)域，應(yīng)用了巨磁阻傳感器IC (GMR)與霍爾。

隨著超精密加工和微電子制造技術(shù)的迅速發(fā)展，對(duì)精密測(cè)量技術(shù)及儀器提出了在毫米級(jí)的測(cè)量范圍內(nèi)達(dá)到納米級(jí)精度的要求，例如超精密數(shù)控加工精度已達(dá)納米量級(jí)，微電子芯片制造技術(shù)已是納米級(jí)制造工藝，因此無(wú)論是超精密數(shù)控機(jī)床的運(yùn)動(dòng)測(cè)量與定位，還是集成電路芯片線寬等特征尺寸測(cè)量、光掩膜制作以及晶圓掃描工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)測(cè)量與定位，均需要納米級(jí)精度的精密測(cè)量?jī)x器。磁性傳感器還可用于準(zhǔn)備樣本的簡(jiǎn)單離心機(jī)，它用來(lái)幫助控制小型電機(jī)，使其變得更加安靜和可靠。此外，精密測(cè)試計(jì)量技術(shù)領(lǐng)域中，各種掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、光柵尺和其他位移傳感器等也離不開(kāi)納米級(jí)精度的精密測(cè)量?jī)x器的校準(zhǔn)或標(biāo)定。

　提高分辨力一直是光刻技術(shù)發(fā)展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，縮短波長(zhǎng)是提高分辨力的有效手段。每次更短波長(zhǎng)光刻的應(yīng)用，都促使集成電路性能得到極大提升。

　光電所采用三角法測(cè)量，Z向位移轉(zhuǎn)化為標(biāo)記光柵與檢測(cè)光柵橫向位移ΔX，通過(guò)兩光路的信號(hào)比對(duì)橫向位移量ΔX進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)檢焦。該方法雖然精度較高且易于實(shí)現(xiàn)，但該測(cè)量方法易受光源或反射率波動(dòng)引起的光強(qiáng)變化的影響，從而降低檢測(cè)精度。該方法的兩光路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相同，兩信號(hào)相位相差，利用兩光路的信號(hào)比求解硅片的離焦量，消除了光強(qiáng)波動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了納米級(jí)的檢焦精度。