凈化工程復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　潔凈隧道(Clean

Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域百1分百覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。二是微量有害氣體，是在密閉情況下，船艙內(nèi)的非金屬材料揮發(fā)出的，船艙密閉時間越久，有害氣體濃度越高。ULSI制程大都采用此種型式。

　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點：

　　A.彈性擴充容易;

　　B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

　　光學(xué)微電子凈化工程解決方案:凈化工程的設(shè)計過程中，應(yīng)加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。

光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之水冷柜機 增壓風(fēng)柜 高1效送風(fēng)口

缺點：

　　A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

　　B.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要集中布置;

　　C.造價較低。特點：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。

      無塵室溫濕度波動大是不是和SCR有關(guān)系？

      判斷物品是否可以帶進無塵室，主要依據(jù)是該物品的發(fā)塵量，是否持續(xù)發(fā)塵，以及是否容易附著灰塵。工具箱一般是金屬或塑料質(zhì)地，擦拭干凈后發(fā)塵量并不大，也不容易附著灰塵，所以一般是可以帶進的。

      當(dāng)然具體情況還要看各個使用部門的規(guī)定，以及無塵室的級別。如果級別比較高的無塵室，應(yīng)該也是不可以的。級別低的無塵室可以帶入，但也應(yīng)該在使用完畢后及時帶出。