地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，要選用防靜電型。送回風管道一般用鍍鋅鋼板，不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應選用凈化車間燈具。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展，建設凈化車間的技術(shù)含量也越來越高，非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域，凈化工程技術(shù)還會逐漸應用于家庭、公共場合，為人們提供更潔凈的生活空間1級：塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降，當金屬塵埃落于集成電路上時，就可能造成短路。當空氣中的酸性離子落在電路上時，可能將電路腐蝕，因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外，液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級潔凈度的要求。

凈化工程的一般施工程序：粉塵作業(yè)，無塵作業(yè)后，不允許交叉作業(yè)。 否則會影響項目的質(zhì)量。 也就是說，在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后，可以進行無塵操作。凈化工程的步的關(guān)鍵是設計，工程設計水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟性。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。

10級：主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級，并且我國半導體技術(shù)也在發(fā)展之中，在未來對潔凈度的要求更加高。一般潔凈室高度控制在2.60米，對個別較高的設備可在局部加高，而不宜提高潔凈區(qū)的高度。凈化工程在設計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關(guān)標準、規(guī)范進行。